为了提高锰铜超高压力传感器的测压上限,须采用超高压力下绝缘性能好的无机材料作为绝缘封装层.用Al2O3薄膜作箔式锰铜超高压力传感器的绝缘层,代替现有箔式锰铜计中所使用的粘胶剂及PTFE膜,从根本上消除高压旁路效应,提高传感器的测压上限.初步的动态超高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为54.55GPa,压阻系数为0.0237GPa-1,延续时间可达1.6μs.
参考文献
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