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对目前几种比较有代表性的结晶器非正弦振动波形进行了介绍,并提出了一种新的波形.从振动动力学、最大上振速度、最大加速度及主要振动工艺参数值等几方面,对各种波形特点进行了全面分析和比较.结果表明,YSU波形、WIS波形要优于其他波形.另外,还对非正弦振动波形偏斜率的取值进行了分析,认为其最佳取值范围为0.25~0.35.

参考文献

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