溶胶-凝胶法制备Ag掺杂的ZnO薄膜及其结构和光学性能的研究

人工晶体学报, 2014, 43(7): 1640-1644.

溶胶-凝胶法制备Ag掺杂的ZnO薄膜及其结构和光学性能的研究

年洪恩 ^1, , 申月 ^2, , 任秀峰 ^3, , 李翔 ^4, , 海春喜 ^5, , 云强 ^6,

1.中国科学院青海盐湖研究所,盐湖资源与化学重点实验室,西宁810008;中国科学院大学,北京100049

2.中国科学院青海盐湖研究所,盐湖资源与化学重点实验室,西宁810008

3.中国科学院青海盐湖研究所,盐湖资源与化学重点实验室,西宁810008;中国科学院大学,北京100049

4.中国科学院青海盐湖研究所,盐湖资源与化学重点实验室,西宁810008;中国科学院大学,北京100049

5.中国科学院青海盐湖研究所,盐湖资源与化学重点实验室,西宁810008

6.中国科学院青海盐湖研究所,盐湖资源与化学重点实验室,西宁810008;中国科学院大学,北京100049

关键词： ZnO薄膜 , 退火温度 , 溶胶-凝胶法 , Ag掺杂 , 透过率

Structural and Optical Properties of Silver Doped Zinc Oxide Thin Films Prepared by Sol-Gel Method

Keywords： ZnO thin film , annealing temperature , sol-gel method , Ag doping , transmittance

溶胶-凝胶法制备了Ag掺杂的ZnO薄膜(AZO).采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、UV-VIS分光光度计、光致发光检测研究了掺杂浓度和退火温度对AZO薄膜光学和结构的影响.AZO薄膜呈(002)择优生长的纤维锌矿六角形结构的多晶相.0.5％和1％ Ag掺杂的薄膜在可见光波长区域光学透过率在70％～ 80％之间,随着Ag掺杂浓度的升高平均透过率有所降低.5％ Ag掺杂的ZnO薄膜经空气中700℃退火后出现两条发射光谱带,经He气氛中退火后UV发射光谱显著增强,并且可见光发射光谱随之消失.

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