铅基钙钛矿型结构铁电薄膜的介电及热释电性能研究

功能材料, 2000, 31(1): 100-101.

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基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)

Dielectric and Pyroelectric Properties of Lead-based Perovskite-type Structure Ferroelectric Thin Films

用改进的溶胶-凝胶旋转涂覆技术,在Pt/Ti/SIO/Si基片上研制出1-2μm厚,具有钙钛矿型结构的PbTiO、PLT和PZT铅基铁电薄膜.该类铁电薄膜具有良好的结晶特性、优异的介电和热释电性能.

[1]	Pham L.;Tjhen W.;Ye C.;Polla D.L. .Surface-micromachined pyroelectric infrared imaging array withvertically integrated signal processing circuitry[J].IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control,1994(4):552-555.
[2]	Polla D L;Schiller P J .[J].Integrated Ferroelectrics,1995,7:359-370.
[3]	Scott J F.[J].Physics World,1995:46-50.
[4]	Liu Meidong;Lu Chunru;Wang Peiying et al.[J].Sensors and Actuators A-Physical,1995,49:191-194.

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