溶胶-凝胶法制备宽带减反膜

功能材料, 2003, 34(5): 579-584.

溶胶-凝胶法制备宽带减反膜

付甜 ^1, , 吴广明 ^2, , 沈军 ^3, , 肖轶群 ^4, , 张志华 ^5, , 杨帆 ^6, , 王珏 ^7,

1.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

2.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

3.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

4.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

5.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

6.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

7.同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA842052) 上海市科技发展基金(02SL001) 上海市纳米科技发展与促进中心资助项目(0152nm012.015nm039) 上海市学科建设项目国家自然科学基金(20133040)

关键词：宽带减反膜 , 溶胶-凝胶 , 折射率调节

Preparation of nanoporous broadband antireflective coatings by sol-gel method

为了克服单层减反射膜剩余反射高,色彩还原性能差的缺点,需要制备宽带减反膜.纳米多孔SiO2薄膜可以实现很好的宽带减反效果.本文用光学薄膜设计程序模拟了光学参数的变化对薄膜光学性能的影响,优化了薄膜的光学参数.实验上通过酸碱两步法和溶胶-凝胶技术制备了折射率梯度的纳米多孔SiO2宽带减反膜.采用椭偏仪、FE-SEM、紫外-可见分光光度计等方法研究薄膜的光学特性和表面形貌.结果表明实验制备的SiO2薄膜具有可控的纳米多孔结构,折射率在1.18～1.43之间可连续调节.形成的宽带减反膜在可见光区域的平均反射率仅为0.44%.

参考文献

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