具有TiN过渡层的BCN薄膜制备与力学性能

稀有金属材料与工程, 2016, 45(2): 503-506.

具有TiN过渡层的BCN薄膜制备与力学性能

陈向阳 ^1, , 张瑾 ^2, , 马胜利 ^3, , 胡海霞 ^4,

1.安徽理工大学,安徽淮南232001;西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,陕西西安710049

2.安徽理工大学,安徽淮南,232001

3.西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,陕西西安,710049

4.安徽理工大学,安徽淮南,232001

基金项目: 安徽理工大学青年教师科学研究基金资助项目(QN201316) 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室开放研究项目(20141604)

关键词： AEMS , 具有TiN过渡层的BCN薄膜 , 力学性能

Synthesis and Mechanical Properties of BCN Thin Film with TiN Interlayer

Keywords： AEMS , BCN thin film with TiN interlayer , mechanical properties

用电弧增强磁控溅射(AEMS)装置在高速钢(W18Cr4V)和Si(100)基体上制备了具有TiN过渡层的BCN薄膜,用X射线衍射(XRD)仪和傅里叶红外光谱(FTIR)分析了薄膜的微观结构,用划痕仪测试了薄膜的结合力,用显微硬度计和销盘式摩擦磨损实验仪测试了薄膜的硬度和摩擦学性能.结果表明:本实验条件下制备的具有TiN过渡层的BCN薄膜的硬度为23 GPa,薄膜与GCr15钢球对磨的摩擦系数为0.3,具有TiN过渡层的BCN薄膜的结合力和摩擦学性能较BCN单层薄膜有明显提高.

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