脉冲激光沉积BNT和KNN系陶瓷薄膜的比较研究

人工晶体学报, 2008, 37(6): 1349-1354.

脉冲激光沉积BNT和KNN系陶瓷薄膜的比较研究

陆雷 ^1, , 肖定全 ^2, , 赁敦敏 ^3, , 张永彬 ^4, , 朱建国 ^5,

1.四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;表面物理与化学国家重点实验室,绵阳,621907

2.四川大学材料科学与工程学院,成都,610064

3.四川大学材料科学与工程学院,成都,610064;香港理工大学应用物理系,九龙,香港

4.表面物理与化学国家重点实验室,绵阳,621907

5.四川大学材料科学与工程学院,成都,610064

基金项目: 国家自然科学基金(50572066;50772068) 国家自然科学基金(50410179)

关键词：脉冲激光沉积 , BNT , KNN , 无铅压电薄膜

Comparative Study of BNT and KNN Thin Films Deposited by PLD

利用脉冲激光沉积技术(PLD),在不同的制备工艺条件下,分别在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了Bi0.5Na0.5TiO3(BNT)系列的Bi0.5(Na0.7K0.2Li0.1)0.5TiO3(BNKLT)和K0.5Na0.5NbO3(KNN)系列的Li0.04(Na0.5K0.5)0.96(Nb0.775Ta0.225)O3(KNNLT)无铅压电陶瓷薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的晶体结构及表面形貌进行了比较研究.研究结果表明:薄膜的衬底温度、沉积室的氧气压力和薄膜的热处理温度对BNT和KNN薄膜结构和形貌都有较大影响,且影响程度不同;在最佳制备工艺参数下,利用PLD制备的BNT和KNN无铅压电陶瓷薄膜都具有精细的表面结构.

参考文献

[1]	肖定全;干福熹.信息材料[M].天津:天津大学出版社,2000
[2]	肖定全.关于无铅压电陶瓷及其应用的几个问题[J].电子元件与材料,2004(11):62-65.
[3]	Dunmin Lin;Dingquan Xiao;Jianguo Zhu .Synthesis and piezoelectric properties of lead-free piezoelectric [Bi_(0.5)(Na_(1-x-y)K_xLi_y)_(0.5)]TiO_3 ceramics[J].Materials Letters,2004(5):615-618.
[4]	Liao Y W;Xiao D Q;Lin D M et al.Synthesis and Propertied of Bi0.5(Na1-x-yKxAgy)0.5TiO3 Lead-free Piezoelectric Ceramics[J].Ceramics International,2007,33:1445-1448.
[5]	Hollenstein E;Davis M;Damjanovic D et al.Piezoelectric Properties of Li-and Ta-modified(K0.5Na0.5)NbO3 Ceramics[J].Applied Physics Letters,2005,87:182905.
[6]	Lin D;Kwok KW;Chan HLW .Microstructure, phase transition, and electrical properties of (K0.5Na0.5)(1-x)Li-x(Nb1-yTay)O-3 lead-free piezoelectric ceramics[J].Journal of Applied Physics,2007(3):034102-1-034102-7-0.
[7]	Wu J G;Xiao D Q;Wang Y Y et al.Effects of K/Na Ratio on the Phase Structure and Electrical Properties of(KxNa0.96-xLi0.04)(Nb0.91Ta0.05Sb0.04)O3 Lead-free Ceramics[J].Applied Physics Letters,2007,91:252907.
[8]	李美成;杨建平;王菁等.脉冲激光薄膜制备技术[J].真空与低温,2000,6(02):63-70.
[9]	Cho CR.;Grishin A. .Background oxygen effects on pulsed laser deposited Na0.5K0.5NbO3 films: From superparaelectric state to ferroelectricity[J].Journal of Applied Physics,2000(9 Pt.1):4439-4448.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网