超声喷雾热解法制备CeO2薄膜及性能研究

人工晶体学报, 2015, 44(11): 3019-3024.

超声喷雾热解法制备CeO2薄膜及性能研究

刘晨 ^1, , 刘胜利 ^2, , 王海云 ^3, , 程杰 ^4, , 李兴鳌 ^5,

1.南京邮电大学电子科学与工程学院,南京210003;南京大学(苏州)高新技术研究院,苏州215123

2.南京大学(苏州)高新技术研究院,苏州215123;南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心,南京210003

3.南京大学(苏州)高新技术研究院,苏州215123;南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心,南京210003

4.南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心,南京,210003

5.南京邮电大学材料科学与工程学院,南京,210003

基金项目: 江苏省高校自然科学研究(13KJB140012) 江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目(2014-XCL-015) 江苏省自然科学基金青年基金(BK20130376,BK20130855) 苏州市科技局纳米技术专项基金(ZXG201444) 国家自然科学基金(51172110,11405089) 南邮校级科研项目(NY214131)

关键词： CeO2 , 择优生长取向 , 超声喷雾热解 , 透过率

Characteristics of CeO2 Thin Films Prepared by Ultrasonic Spray Pyrolysis Method

Keywords： CeO2 , preferred growth orientation , ultrasonic spray pyrolysis(USP) , transmittance

以硝酸铈(Ce(NO3)3·6H2O)水溶液为前驱溶液,采用自制超声喷雾热解装置在石英衬底上沉积制备CeO2薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见分光光度计等分析薄膜晶体结构、微观形貌及光学特性.结果表明,随着沉积温度升高,薄膜择优生长取向逐渐变为(200);当沉积温度为500℃时,薄膜具有良好的致密性;薄膜在可见光区表现出近85％的高透过率,同时发现随着沉积温度升高,薄膜透过率逐渐增大,光吸收逐渐由缺陷吸收转变为本征吸收.

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