采用气相传输平衡技术在掺Sr2+的α-BBO(001)衬底上制备了β-BBO薄膜,研究了粉料配比、VTE处理温度以及恒温时间对薄膜质量的影响.结果表明,在适当的粉料配比、VTE处理温度以及恒温时间下,在Sr2+:α-BBO晶片表层制备呈c轴高度择优取向的、没有第二相物质的β-BBO薄膜,其双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM为1000",显示出β-BBO薄膜较好的结晶质量.并对气相传输平衡技术制备β-BBO薄膜的机理进行了初步的探讨.
参考文献
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