Kinetic Monte Carlo模拟PVD薄膜生长的算法研究

功能材料, 2005, 36(10): 1542-1544.

Kinetic Monte Carlo模拟PVD薄膜生长的算法研究

赫晓东 ^1, , 单英春 ^2, , 李明伟 ^3, , 史丽萍 ^4,

1.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150080

2.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150080

3.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150080

4.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150080

基金项目: 国家自然科学基金(50304007) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA763020)

关键词： kinetic Monte Carlo , 红黑树 , PVD , 薄膜

The kinetic Monte Carlo algorithm study of physical vapor deposition thin film growth

提出kinetic Monte Carlo模拟物理气相沉积(physical vapor deposition,简写为PVD)薄膜生长的新算法:用红黑树搜索实现跃迁路径选择及系统跃迁概率更新,通过比较红黑树搜索、线性查找、满二元树搜索的计算效率,综合分析了这3种方法的时间复杂度和空间复杂度.结果表明红黑树搜索优于其它两种搜索方法,模拟效率最高,更适合用于执行大系统的kinetic Monte Carlo模拟.

参考文献

[1]	Ozawa S.;Heermann DW.;Sasajima Y. .MONTE CARLO SIMULATIONS OF FILM GROWTH[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,1996(2):172-183.
[2]	Gilmer G H;Huang H;de La Rubia T D .[J].Thin Solid Films,2000,365:189-200.
[3]	严蔚敏;吴伟民.数据结构[M].北京:清华大学出版社,1998:18.
[4]	Cormen T H;Leiserson C E;Rivest R L.Introduction to Algorithms[M].北京:高等教育出版社,2002:273.
[5]	Huang H;Gilmer G H;de La Rubia T D .[J].Journal of Applied Physics,1998,84(07):3636-3649.

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The kinetic Monte Carlo algorithm study of physical vapor deposition thin film growth

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