聚乙烯亚胺添加剂对碱性镀铜电沉积行为的影响

材料保护, 2010, 43(2): 1-35.

聚乙烯亚胺添加剂对碱性镀铜电沉积行为的影响

占稳 ^1, , 胡立新 ^2, , 张智 ^3, , 欧阳贵 ^4, , 程骄 ^5, , 陈雪梅 ^6,

1.湖北工业大学化学与环境工程学院,湖北,武汉,430068

2.湖北工业大学化学与环境工程学院,湖北,武汉,430068

3.湖北工业大学化学与环境工程学院,湖北,武汉,430068

4.武汉材料保护研究所,湖北,武汉,430030

5.湖北工业大学化学与环境工程学院,湖北,武汉,430068

6.黄石理工学院化工与材料学院,湖北,黄石,435003

基金项目: 湖北省教育厅科学研究计划重点项目(B20081403)

关键词：碱性镀铜 , 聚乙烯亚胺添加剂 , 镀层表面形貌 , 择优取向 , 连续成核

Effect of Polyethyleneimine on Electrodeposition Behavior of Copper in an Alkaline Bath

ZHAN Wen ^1, , HU Li-xin ^2, , ZHANG Zhi ^3, , OU YANG-Gui ^4, , CHENG Jiao ^5, , CHEN Xue-mei ^6,

1.湖北工业大学化学与环境工程学院,湖北,武汉,430068

2.湖北工业大学化学与环境工程学院,湖北,武汉,430068

3.湖北工业大学化学与环境工程学院,湖北,武汉,430068

4.武汉材料保护研究所,湖北,武汉,430030

5.湖北工业大学化学与环境工程学院,湖北,武汉,430068

6.黄石理工学院化工与材料学院,湖北,黄石,435003

Keywords： alkaline copper electroplating , polyethyleneimine additive , surface morphology , orientation , continuous nucleation

为了研究碱性镀铜中添加剂对铜电沉积行为的影响,采用一种新型柠檬酸碱性镀铜工艺制备了铜镀层,研究了聚乙烯亚胺添加剂在新型柠檬酸盐碱性镀铜中的作用机理.运用SEM,XRD和电化学方法对镀液、镀层进行了分析.结果表明:聚乙烯亚胺有利于获得较宽的电流密度范围和均匀细致的镀层,使铜镀层表现出(111)晶面的择优取向,铜的沉积为侧向生长;聚乙烯亚胺优先吸附在阴极高电流密度处,并对铜沉积产生较强的阻化作用;铜电沉积的初期行为服从扩散控制和三维连续成核方式生长规律.

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