用前向反冲方法和高能非Ｒｕｔｈｅｒｆｏｒｄ背散射研究了磁控溅射制备的Ｔｉ－Ｍｏ合金薄膜的氢化性能和碳、氧污染的影响, 掺Ｍｏ的Ｔ洽 金薄膜不仅能大大减低碳的污染, 而且较纯钛有较高的吸氢性能合金氢化后由δ相氢化物和β相固溶体组成, 随着Ｍｏ成分增加, 合金中的β－（Ｔｉ, Ｍｏ）含量上升, 当ＭＯ含量约２０时可形成单一的β相固溶体此时氢含量仍可在４５以上. Ｔｉ－Ｍｏ合金薄膜同时也具有良好的附着力和抗粉化性能.
参考文献
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