衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究进展

材料导报, 2000, 14(4): 44-45.

衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究进展

王必本 ^1, , 王万录 ^2, , 廖克俊 ^3, , 肖金龙 ^4,

1.重庆大学理学院应用物理系,重庆,400044

2.重庆大学理学院应用物理系,重庆,400044

3.重庆大学理学院应用物理系,重庆,400044

4.重庆大学理学院应用物理系,重庆,400044

基金项目: 中国科学院资助项目(19904016)

关键词：衬底负偏压 , 成核机制 , 金刚石膜

Progress of Study on Mechanisms of Negative Substrate Bias Enhanced Diamond Nucleation

综述了近几年来对衬底负偏压增强金刚石成核机制的研究,并且对各种机制进行了分析和讨论,提出了今后有待研究的问题.

参考文献

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