Ru-Cr下底层成分对Co-W磁性薄膜结构和磁性能的影响

材料研究学报, 2014, 28(7): 515-520.

Ru-Cr下底层成分对Co-W磁性薄膜结构和磁性能的影响

1.东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室沈阳 110819;东北大学材料与冶金学院沈阳 110819

2.东北大学材料与冶金学院沈阳 110819

3.东北大学材料各向异性与织构教育部重点实验室沈阳 110819;东北大学材料与冶金学院沈阳 110819

基金项目: Supported by National Natural Science Foundation of China No.50901016,the Fundamental Research Funds for the Central Universities No.N090402005,and the Scientific Research Foundation for Returned Scholars,Ministry of Education of China.国家自然科学基金青年基金50901016、中央高校基本科研业务费N090402005和教育部留学回国人员启动基金资助项目.

关键词：金属材料 , Co-W磁性薄膜 , XRD , 晶体结构 , 磁各向异性能

Influence of Composition of Ru-Cr Buffer Layers on Crystal Structure and Magnetic Property of Co-W Magnetic Films

Keywords： metallic materials , Co-W magnetic film , X-ray diffraction , crystallographic structure , magnetic anisotropy energy

用直流磁控溅射在300℃不同Ru-x％ Cr (x=0,20,40)下底层沉积制备了Co-15％ W(原子分数)磁性薄膜.用XRD表征了薄膜的精细晶体结构,分析了Co-W和Ru-Cr层的取向关系,估算了薄膜层的晶格常数、c轴分散角、fcc/hcp体积百分比和堆垛层错密度值.结果表明,随着Ru-Cr下底层Cr成分的增加Co-W磁性层和Ru-Cr下底层间的晶格错配度降低,hcp-Co的晶格常数比c/a随之减小.磁性能测试结果证实,由于Co-W磁性层中晶格常数比c/a的减小磁性层的磁各向异性能显著提高.

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