溶胶-凝胶提拉法制备光导型日盲区紫外探测器

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基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(2003AA-3-A19) 国家重点基础研究发展计划(973计划)(G2000683-06) 国家自然科学基金(90201038)

Solar-Blind UV Photodetectors Prepared by Sol-Gel Technique

利用溶胶凝胶法制备了Ga2O3和InxGa2-xO3薄膜,对其晶体结构、光探测性能等进行了研究,并制作了1个基于上述氧化镓薄膜的光导型紫外探测器.实验结果表明,Ga2O3是很好的光导型日盲紫外探测材料之一.

[1]	Biyikli N;Kimukin I;Kartaloglu T et al.[J].Applied Physics Letters,2003,82(14):2344-2346.
[2]	白谢辉,杨定江.半导体紫外探测器技术进展[J].激光与红外,2003(02):83-86.
[3]	苑进社,陈光德,张显斌.GaN基半导体太阳盲区紫外探测器研究进展[J].半导体光电,2003(01):5-11.
[4]	Orita M.;Hirano M.;Hosono H.;Ohta H. .Deep-ultraviolet transparent conductive beta-Ga2O3 thin films[J].Applied physics letters,2000(25):4166-4168.
[5]	Biyikli N;Aytur O;kimukin I et al.[J].Applied Physics Letters,2002,81(17):3272-3274.
[6]	Binet L;Gourier D .[J].Journal of Physics and Chemistry of Solids,1998,60:1755-1762.
[7]	Cho S;Lee J;Park I Y et al.[J].Materials Letters,2002,57:1004-1009.
[8]	Caputo D.;Irrera F.;Tucci M.;de Cesare G. .Metastability effect in solar blind UV amorphous silicon carbide photodetector[J].Journal of Non-Crystalline Solids: A Journal Devoted to Oxide, Halide, Chalcogenide and Metallic Glasses, Amorphous Semiconductors, Non-Crystalline Films, Glass-Ceramics and Glassy Composites,1998(Pt.B):1316-1320.
[9]	Ogita M.;Nakanishi Y.;Hatanaka Y.;Saika N. .Ga_2O_3 thin films for high-temperature gas sensors[J].Applied Surface Science: A Journal Devoted to the Properties of Interfaces in Relation to the Synthesis and Behaviour of Materials,1999(1):188-191.
[10]	Battison G A;Gerbasi R;Porchia M et al.[J].Thin Solid Films,1996,279:115-118.
[11]	徐国昌;凌一鸣.光电子物理基础[M].南京:东南大学出版社,1998:98.

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