强激光负载Sol-Gel减反膜和防潮膜

稀有金属材料与工程, 2004, 33(z1): 125-128.

强激光负载Sol-Gel减反膜和防潮膜

唐永兴 ^1, , 李海元 ^2, , 严海华 ^3, , 乐月琴 ^4, , 贾巧英 ^5, , 刘瑞军 ^6,

1.上海光学精密机械研究所,高功率激光物理国家实验室,上海,201800

2.上海光学精密机械研究所,高功率激光物理国家实验室,上海,201800

3.上海光学精密机械研究所,高功率激光物理国家实验室,上海,201800

4.上海光学精密机械研究所,高功率激光物理国家实验室,上海,201800

5.上海光学精密机械研究所,高功率激光物理国家实验室,上海,201800

6.上海光学精密机械研究所,高功率激光物理国家实验室,上海,201800

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(2004AA842050)

关键词：强激光负载 , 溶胶-凝胶 , 减反膜 , 防潮膜

Sol-Gel Antireflective(AR) and Moisture-Resistant Coatings with High Laser Damage Thresholds

对不同比例的Si(OC2H5)4:H2O:C2H5OH:NH3:PEG配方进行优化,在一定的工艺条件下陈化放置,最后得到半透明的悬胶体涂膜溶液.采用浸渍提拉法涂膜.研究了涂膜悬胶体粘度变化的规律性,TEM测量了悬胶体内部SiO2颗粒的尺寸大小以及颗粒之间的聚合状态,研究开发了高激光破坏阈值减反膜和防潮膜.涂制多孔SiO2减反膜后K9和石英玻璃,单波长表面反射率减少约7.5%,激光破坏阈值＞15 J/cm2,1 053 nm/1ns;涂制防潮膜减反膜的KDP晶体,双波长表面反射率减少6.5%～7.5%.膜层表面均匀性优良.

参考文献

[1]	Stober W;Fink A .[J].Journal of Colloid and Interface Science,1968,26:62.
[2]	Yoldas B E;Partlow D P .[J].Applied Optics,1984,23:1418.
[3]	Thomas I M .[J].Applied Optics,1986,25:1481.
[4]	Belleville P F;Floch H G .[J].Proceedings of SPIE,1994,2 288:25.
[5]	Sermon P A;Vong M S W;Bazin N et al.[J].Proceedings of SPIE,1995,2 633:464.
[6]	Thomas I M .[J].Proceedings of SPIE,1993,2 114:232.
[7]	Thomas I M .[J].Proceedings of Spie,1991,1561:72.

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