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溶胶-凝胶法制备的光学薄膜具有优良的物理化学特性和广阔的应用前景.通过对整个化学法镀膜过程的分析,发现溶胶中胶体颗粒粒径的大小决定胶体颗粒之间的搭接,从而直接决定着所镀薄膜表面形貌和平整度.采用激光粒度仪对氧化锆溶胶的颗粒特性进行了为期28天的观测,发现氧化锆胶体平均粒径保持在10 nm左右,有逐渐增大的趋势,溶胶保存时间在20天以内较为适合镀膜.用原子力显微镜观测薄膜的表面相貌,所镀薄膜均匀,平整度小于5nm.可见采用激光粒度仪对溶胶颗粒粒径变化进行监控,能有效提高所镀薄膜的成膜特性,对溶胶镀膜的大规模生产和工艺成熟有一定的指导意义.

参考文献

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