退火温度对IrO2+ZrO2涂层结构和电容性能的影响

稀有金属材料与工程, 2015, 44(12): 3192-3196.

退火温度对IrO2+ZrO2涂层结构和电容性能的影响

马晓磊 ^1, , 邵艳群 ^2, , 朱君秋 ^3, , 娄长影 ^4, , 何建福 ^5, , 林星星 ^6, , 唐电 ^7,

1.福州大学,福建福州,350108

2.福州大学,福建福州,350108

3.福州大学,福建福州,350108

4.福州大学,福建福州,350108

5.福州大学,福建福州,350108

6.福州大学,福建福州,350108

7.福州大学,福建福州,350108

基金项目: 福建省教育厅项目(JA11018) 国家级大学生创新创业训练(201213470007) 国家自然科学基金(11374053)

关键词：组织结构 , 电容性能 , IrO2+ZrO2二元氧化物 , 热分解

Influence of Annealing Temperature on the Structures and Capacitive Performance of IrO2+ZrO2 Binary Oxide Coatings

Keywords： structure , capacitive performance , IrO2+ZrO2 binary oxide , thermal decomposition

采用热分解法在Ti基上被覆了IrO2+ZrO2氧化物涂层.通过XRD、SEM、EDX、XPS和循环伏安法等分析了退火温度对IrO2-ZrO2二元氧化物涂层的物相、表面形貌和电容性能的影响,引用非线性方程g*(v)=A1 exp(-v/t11)+A 2exp(-v/t2)+y0计算了涂层的内外活性点.结果表明:IrO2-ZrO2涂层的临界晶化温度为340～360℃,340℃退火的涂层物相为非晶结构,360℃退火,含有晶态和非晶态2种结构组织,其离子价态为Ir3+、Ir4+以及过饱和IrO2+(x＞0).电容性能随着温度的升高呈先增大后减小变化,360℃退火的电极有最大的电容值,与其“非晶态/晶态”两相共存组织结构有关.涂层中质子迁移能力比电子导电能力对电容的影响要大,扫描速度对质子迁移的影响大于对电子导电的影响.

参考文献

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网