采用溶胶-凝胶法制备了掺铝氧化锌(ZAO)薄膜,用X射线衍射(XRD)、紫外-可见光-近红外分光光度计等分析测试手段对薄膜进行了表征;通过正交试验探讨了镀膜层数、溶胶浓度、铝离子的摩尔分数以及退火温度等因素时掺铝氧化锌(ZAO)薄膜近红外反射率的影响,优选了制备具有高近红外反射率的薄膜的工艺参数.研究结果表明,当溶胶浓度为0.9mol/L,Al3+的摩尔分数为0.8%,退火温度为500℃,镀膜层数为15层时,所得薄膜样品的近红外平均反射率达到35.73%,最高反射率达到46.99%,在2 000 nm附近的最高近红外反射率达到40.38%.
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