N型半导体金刚石的研究现状与展望

人工晶体学报, 2016, 45(11): 2728-2740.

N型半导体金刚石的研究现状与展望

李尚升 ^1, , 许安涛 ^2, , 王生艳 ^3, , 刘书强 ^4, , 于昆鹏 ^5, , 王健康 ^6, , 韩飞 ^7,

1.河南理工大学材料科学与工程学院,焦作,454000

2.焦作师范高等专科学校数学学院,焦作,454000

3.河南理工大学材料科学与工程学院,焦作,454000

4.焦作市激光研究所,焦作,454002

5.河南理工大学材料科学与工程学院,焦作,454000

6.河南理工大学材料科学与工程学院,焦作,454000

7.河南理工大学材料科学与工程学院,焦作,454000

基金项目: 焦作市应用基础研究项目(212) 河南省教育厅重点资助(12A430010) 河南理工大学创新型科研团队支持计划(T2013-4) 河南理工大学材料工程专业学位研究生专业实践示范基地(2016YJD03)

关键词：金刚石 , N型半导体 , 掺杂

Research Status and Prospect of N Type Semiconductor Diamond

Keywords： diamond , N type semiconductor , doping

作为半导体材料的金刚石具有宽的禁带宽度和高的热导率、介质击穿场强等优异性质,因此其应用前景广阔.P型金刚石发展较N型金刚石成熟.因为缺乏可实用的N型金刚石材料,这使得金刚石半导体器件的应用难以实现.因此N型半导体金刚石成为研究者关注的焦点.论文从掺杂元素和制备方法两方面详细介绍了国内外N型金刚石的研究现状.硼与磷或硫元素共掺杂获得N型金刚石的研究取得了较大进展;利用化学气相沉积法和离子注入法制备N型半导体金刚石研究较多且取得了一定进展.高压高温下的温度梯度法便于掺杂调控金刚石性能,因而利用该法合成N型半导体金刚石大单晶值得尝试.

参考文献

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网