镶嵌结构界面金刚石成膜机制的研究

稀有金属材料与工程, 2014, 43(12): 3100-3103.

镶嵌结构界面金刚石成膜机制的研究

陈星婷 ^1, , 邱万奇 ^2, , 刘仲武 ^3, , 匡同春 ^4, , 曾德长 ^5, , 周克崧 ^6,

1.华南理工大学,广东广州510640

2.华南理工大学,广东广州510640

3.华南理工大学,广东广州510640

4.华南理工大学,广东广州510640

5.华南理工大学,广东广州510640

6.华南理工大学,广东广州510640;广州有色金属研究院,广东广州510650

基金项目: 国家自然科学基金(51071070,51271079,50971062)

关键词：金刚石膜 , 镶嵌 , 成膜机制 , 二次形核

Film-Forming Mechanism of Inlay Structure Diamond Growth

Keywords： diamond films , inlay structure , growth mechanism , second nucleation

在铜基体复合电沉积金刚石-铜过渡层,用热丝CVD法对铜基镶嵌结构界面金刚石膜的初期生长过程进行了研究.结果表明:不规则的露头金刚石在CVD生长初期逐渐转化为规则的刻面金刚石,长大速率呈现先增加后降低的趋势,伴随着刻面的形成,在露头金刚石与电镀铜二面角处开始二次形核,二次晶粒与电镀铜形成新的二面角并促进二次形核,如此繁衍长大的结果是二次晶粒填充在露头金刚石颗粒沟槽之间,形成连续的金刚石膜.

参考文献

[1]	邱万奇,陈星婷,刘仲武,钟喜春,余红雅,曾德长.镶嵌结构界面金刚石涂层研究进展[J].真空科学与技术学报,2011(06):691-695.
[2]	Qiu, W.Q.;Dasari, A.;Mai, Y.-W. .Improvement in adhesion of diamond film on Cu substrate with an inlay structured interlayer[J].Surface & Coatings Technology,2011(2/3):224-227.
[3]	Huang YS;Qiu W;Luo CP .Effect of molybdenum on diamond deposition and adhesion[J].Thin Solid Films: An International Journal on the Science and Technology of Thin and Thick Films,2005(1/2):20-25.

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