离子束溅射BST薄膜的制备及结构分析

功能材料, 2004, 35(z1): 1379-1382.

1.云南大学,材料科学与工程系,云南,昆明,650091

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基金项目: 云南省科技攻关项目(2001GG06)

Microstructure of BST films by ion-beam sputtering

本文采用离子束溅射的方法制备了不同衬底温度下的BST薄膜,用X射线、Raman、SPM等技术对晶体结构及微观形貌进行表征,研究了离子束溅射制备BST的工艺.

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