MEMS气敏传感器

功能材料, 2003, 34(2): 133-139.

MEMS气敏传感器

惠春 ^1, , 徐爱兰 ^2, , 徐毓龙 ^3,

1.上海交通大学,微纳米科学技术研究院,上海,200030

2.上海交通大学,微纳米科学技术研究院,上海,200030

3.上海交通大学,微纳米科学技术研究院,上海,200030

基金项目: 国家科技攻关项目(2001BA325C)

关键词： MEMS技术 , 牺牲层技术 , MEMS气敏传感器

MEMS gas sensors

随着MEMS技术的飞速发展,各种MEMS器件和系统相继问世,MEMS气敏传感器是其中之一.本文重点介绍了7种MEMS气敏传感器.

参考文献

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