具有一定取向的TiO2薄膜的研究与制备

功能材料, 2006, 37(8): 1283-1285.

具有一定取向的TiO2薄膜的研究与制备

张长沙 ^1, , 赵高凌 ^2, , 杨耀东 ^3, , 韩高荣 ^4,

1.浙江大学,材料系硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

2.浙江大学,材料系硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

3.浙江大学,材料系硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

4.浙江大学,材料系硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027

基金项目: 国家自然科学基金(50372060) 国家高技术研究发展计划(863计划)(2004AA32G040)

关键词：二氧化钛 , 取向 , 浸渍 , 薄膜

Preparation and study of oriented TiO2 thin film

用浸渍法将P25粉末涂敷于溶胶-凝胶法制备的TiO2预制膜上,进行一系列的热处理,制备TiO2薄膜样品.用X射线衍射法对样品进行晶体结构分析,发现用这种方法可以得到具有一定取向的TiO2薄膜.其结晶程度和取向度与浸渍时间和热处理时间相关,在浸渍时间为10h、热处理温度为500℃时,得到沿(101)面方向取向生长的TiO2薄膜.

参考文献

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