太阳能电池用多晶硅晶界的EBSD研究

材料导报, 2012, 26(24): 9-11.

太阳能电池用多晶硅晶界的EBSD研究

马会娜 ^1, , 张智慧 ^2, , 左玉婷 ^3, , 杜风贞 ^4, , 李继东 ^5,

1.北京有色金属研究总院分析测试技术研究所,北京100088

2.北京有色金属研究总院分析测试技术研究所,北京100088

3.北京有色金属研究总院分析测试技术研究所,北京100088

4.北京有色金属研究总院分析测试技术研究所,北京100088

5.北京有色金属研究总院分析测试技术研究所,北京100088

基金项目: 科技部创新方法工作专项项目(2010IM031300)

关键词：太阳能电池 , 多晶硅 , 电子背散射衍射 , 晶界 , ∑3

Electron Back Scattered Diffraction Study on Grain Boundaries in Polycrystalline Silicon of Solar Cells

利用电子背散射衍射(Electron back scattered diffraction,EBSD)对太阳能电池用多晶硅的晶界进行了研究.结果表明,太阳能电池用多晶硅中的大部分晶界为大角度晶界,且以特殊晶界∑3和普通晶界为主,同时还存在少量小角度晶界.在制作太阳能电池用多晶硅时,重点要降低小角度晶界和∑3的含量.

参考文献

[1]	Lee G H;Aukkavarittayapun S;Shin J S et al.A study of impurities in poly-Si wafers prepared by a vacuum casting method[J].Journal of Ceramic Processing Research,2003,4(03):26.
[2]	A. A. Istratov;T. Buonassisi;R. J. McDonald;A. R. Smith;R. Schindler;J. A. Rand;J. P. Kalejs;E. R. Weber .Metal content of multicrystalline silicon for solar cells and its impact on minority carrier diffusion length[J].Journal of Applied Physics,2003(10):6552-6559.
[3]	Sawada H;Ichinose H .Structure of { 112}∑3 boundary in silicon and diamond[J].Scripta Materialia,2001,44(8-9):2327.
[4]	杨平.电子背散射衍射技术及其应用[M].北京:冶金工业出版社,2007
[5]	陈君,杨德仁,席珍强.铸造多晶硅晶界的EBSD和EBIC研究[J].太阳能学报,2006(04):364-368.
[6]	徐卫平,王云,胡勇,周浪.用于太阳能电池的多晶硅锭片晶体学特征研究[J].材料工程,2009(05):11-13.

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