TiO2薄膜的椭圆偏振光谱研究

稀有金属材料与工程, 2007, 36(z3): 17-20.

TiO2薄膜的椭圆偏振光谱研究

魏权 ^1, , 曹全喜 ^2, , 姜海青 ^3, , 李智敏 ^4, , 崔彬 ^5,

1.西安电子科技大学技术物理学院,陕西,西安,710071

2.西安电子科技大学技术物理学院,陕西,西安,710071

3.西安电子科技大学技术物理学院,陕西,西安,710071

4.西安电子科技大学技术物理学院,陕西,西安,710071

5.西安电子科技大学技术物理学院,陕西,西安,710071

关键词： TiO2薄膜 , 溶胶-凝胶工艺 , 椭偏光谱

Study on TiO2 Thin Film by Spectroscopic Ellipsometry

采用溶胶-凝胶工艺制备TiO2薄膜.XRD结果表明所制备TiO2薄膜为锐钛矿结构.场发射SEM结果显示TiO2薄膜致密、无裂纹,晶粒尺寸约为60～100 nm,单层薄膜厚度约为50 nm,且膜厚随着热处理温度的升高而增大.采用椭圆偏振光谱仪测试了薄膜的椭偏参数ψ、△与波长λ的色散关系,选用Cauchy模型对TiO2薄膜的折射率、消光系数和厚度进行了拟合.结果表明当波长大于800 nm时,TiO2薄膜的折射率在2.09～2.20左右,消光系数约为0.026.并对不同热处理温度下制备的TiO2薄膜光学常数及厚度进行了分析讨论.

参考文献

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