采用射频磁控溅射方法在玻璃和硅(100)衬底上制备了不同氧分压的Cu掺杂ZnO(ZnO:Cu)薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和光致荧光发光(PL)等表征技术,研究了衬底和氧分压对ZnO:Cu薄膜的结晶性能和光学特性的影响.结果显示薄膜沉积在Si衬底上比玻璃衬底上有更好c轴择优取向,两种衬底上沉积的薄膜有相同的氧分压结晶规律,且在氧氩比为10:10时,薄膜c轴取向同时达到最好.通过对光致发光的研究表明,在低氧环境时玻璃衬底较容易制得好的发光薄膜,可在富氧环境时Si衬底上制得的薄膜发光性能较好.
参考文献
[1] | M. K. Ryu;S. H. Lee;M. S. Jang;G. N. Panin;T. W. Kang .Postgrowth annealing effect on structural and optical properties of ZnO films grown on GaAs substrates by the radio frequency magnetron sputtering technique[J].Journal of Applied Physics,2002(1):154-158. |
[2] | 朋兴平,兰伟,谭永胜,佟立国,王印月.Cu掺杂氧化锌薄膜的发光特性研究[J].物理学报,2004(08):2705-2709. |
[3] | Ma Q B;Ye Z Z;He H P et al.[J].Scripta Materialia,2008,58(01):21-24. |
[4] | H. Kim;C. M. Gilmore;J. S. Horwitz .Transparent conducting aluminum-doped zinc oxide thin films for organic light-emitting devices[J].Applied physics letters,2000(3):259-261. |
[5] | Hou D L;Ye X J;Zhao X Y et al.[J].Journal of Applied Physics,2007,102(03):033905. |
[6] | 马全宝;叶志镇;何海平 等.[J].无机材料学报,2007,22(06):113-116. |
[7] | 徐小丽,马书懿,陈彦,魏晋军,张国恒,孙小菁.氧分压对磁控溅射制备ZnO薄膜的结构及光学特性的影响[J].发光学报,2007(05):730-735. |
[8] | Tang I T;Wang Y C;Hwang W C et al.[J].Journal of Crystal Growth,2003,252(03):190-198. |
[9] | 徐彭寿,孙玉明,施朝淑,徐法强,潘海斌.ZnO及其缺陷电子结构对光谱特性的影响[J].红外与毫米波学报,2002(z1):91-96. |
[10] | 郑丁葳,倪晟,赵强,王基庆.不同氧分压下直流反应溅射ZnO薄膜的结构和光学特性[J].光学学报,2007(04):739-743. |
[11] | Vanheusden K;Seager C H;Warren W L et al.[J].Applied Physics Letters,1996,68(03):403-405. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分:
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%