欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(3036)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

RF磁控溅射制备Al2O3薄膜及其介电性能研究

刘红飞 , 程晓农 , 徐桂芳 , 张志萍 ,

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2007.01.002

以α-Al2O3为靶材,采用射频磁控溅射法制备了非晶Al2O3薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电镜、划痕仪、表面粗糙轮廓仪和阻抗仪研究了不同溅射功率和不同溅射气压对薄膜制备的影响,探索了不同溅射功率下制备的Al2O3薄膜的介电常数和介电损耗与频率的关系.试验结果表明,制备的非晶Al2O3薄膜表面平滑致密;随着工作气压的增加,薄膜沉积速率增加;随着溅射功率的增加,Al2O3薄膜的沉积速率和介电常数逐渐增加、介电损耗逐渐减小;随着频率的增加,Al2O3薄膜的介电常数逐渐减小,高频阶段趋于稳定.

关键词: Al2O3薄膜 , RF磁控溅射 , 沉积速率 , 介电损耗 , 介电常数

负热膨胀材料ZrW2O8及其复合材料研究进展

杨新 , 程晓农 , 严学华 ,

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2007.01.039

ZrW2O8是一种优良的各向同性负热膨胀材料.本文对ZrW2O8的晶体结构、负热膨胀特性和制备方法作了简要介绍,着重论述了以Cu/ZrW2O8、ZrO2/ZrW2O8和聚酰亚胺(Polyimide)/ZrW2O8为代表的ZrW2O8复合材料的研究现状.

关键词: ZrW2O8 , 负热膨胀 , 可控热膨胀 , 零膨胀 , 复合材料

磁控溅射法制备ZrW2O8薄膜及其性能

, 程晓农 , 严学华 , 刘红飞

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2007.08.008

利用射频磁控溅射法在单晶硅片和石英基片上沉积了非晶态ZrW2O8薄膜,对不同温度下热处理的薄膜进行了XRD分析;用扫描电镜观察了薄膜的表面形貌,用阻抗分析仪和分光光度计分别研究了薄膜的介电性能和透光性能.结果表明:非晶态薄膜在740℃热处理3 min可以制得具有较好负热膨胀特性的ZrW2O8薄膜,其热膨胀系数为-2.54×10-5 /℃;介电常数和介电损耗均随着频率的增加而减小;在可见光范围内薄膜的透光率达75%.

关键词: 磁控溅射 , ZrW2O8薄膜 , 热膨胀系数 , 介电性能 , 透光率

负热膨胀ZrW2O8薄膜的制备和性能

刘红飞 , 程晓农 , 张志萍 ,

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2008.01.015

用交替射频磁控溅射法在石英基片上沉积并退火制备了ZrW2O8薄膜,测量了薄膜与基片之间的结合力和薄膜厚度,研究了薄膜的负热膨胀特性.结果表明:用磁控溅射方法制备的薄膜为非晶态,表面平滑、呈颗粒状,在1200℃热处理3 min后得到立方相ZrW2O8薄膜,结晶薄膜的颗粒长大,薄膜与基片之间有良好的结合力.立方相ZrW2O8薄膜在15-200℃热膨胀系数为-24.81×10-6K-1,200-700℃热膨胀系数为-4.78×10-6K-1,平均热膨胀系数为-10.08×10-6K-1.

关键词: 无机非金属材料 , 钨酸锆 , 薄膜 , 磁控溅射 , 负热膨胀

阿根矿业立法概述及矿业投资项目操作法律实务

李庆保 , 孙豁然

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2007.10.001

中国矿业企业越来越多地走出国门参与国际矿业投资活动,需要更多掌握国际矿业并购投资知识的中国律师提供法律服务.文中根据笔者参与中国某大型企业集团,通过股权并购方式投资阿根铁矿项目的实践经验,对阿根的矿业投资法律法规和法律操作实务进行了比较全面的介绍,尤其对于中国律师应发挥的作用和提供的法律服务作出了较详细的阐述.

关键词: 国际矿业投资 , 律师 , 法律实务

改性沸石H-BEA催化4-苯基丁酸分子内克反应合成1-萘满酮

邱俊 , 王建刚 , 孙杰

应用化学 doi:10.3724/SP.J.1095.2011.00367

以乙二胺四乙酸二钠(EDTA)、柠檬酸、草酸、酒石酸改性制备了H-BEA,并根据XRD和NH3-TPD对沸石H-BEA进行表征.采用上述改性沸石催化4-苯基丁酸分子内克反应合成1-萘满酮进行催化剂反应活性评价.实验结果表明,以柠檬酸改性沸石H-BEA具有较高的催化活性.进一步对催化剂用量、反应温度、反应时间等工艺条件优化得到最佳工艺条件,在最佳工艺条件下,产物1-萘满酮产率达到94.3%.

关键词: 苯基丁酸 , 萘满酮 , 分子内Friedel-Crafts , 沸石H-BEA

涂料概述

王连杰 , 高焕方

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2004.06.005

重点对吸涂料的吸机理以及粘结剂和吸收剂种类进行了论述,并对吸涂料的发展趋势进行了简单描述.

关键词: 吸收剂 , 涂料 , 隐身涂料

  • 首页
  • 上一页
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5
  • 下一页
  • 末页
  • 共304页
  • 跳转 Go

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词