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采用磁控溅射法制备了TiO2/Al2O3堆栈结构高k栅介质薄膜,研究了不同后处理条件对等效氧化物厚度,界面电荷和界面扩散的影响.实验结果表明:400℃退火后,TiO2已经结晶,退火可以降低漏电流密度和介电层中的电荷密度.同时,退火使Ti进一步向Al2O3层扩散,形成TiO2和A12为O3的混合层,Al2O3层过薄时不能有效阻挡TiO2的扩散.

关键词: TiO2/Al2O3 , 堆栈结构 , high-k , 界面层

硅通孔铜互连甲基磺酸铜电镀液中氯离子的作用

季春花 , 凌惠琴 , 曹海勇 , 李明 , 毛大立

电镀与涂饰

研究了硅通孔(TSV)镀铜用甲基磺酸铜高速镀液(由Cu(CH3SO3)2 40 g/L、甲基磺酸60 g/L及Cl- 50 mg/L组成)中氯离子的作用机理.采用旋转圆盘电极研究了不同扩散条件下Cl-的作用效果,并采用电化学阻抗谱(EIS)和电子顺磁共振(EPR)探讨了Cl-在铜电化学沉积中的影响机制和对Cu+配位场的影响.结果表明:在深孔内扩散控制条件下,Cl-对铜沉积有明显的加速作用；在表面非扩散控制区域,尤其是高电流密度区,Cl-具有一定的抑制效果.因此,Cl-的存在有利于改善TSV深孔镀铜填充效果,提高填充速率.

关键词: 硅通孔 , 铜互连 , 电镀 , 氯离子 , 甲基磺酸盐

凌钢高炉喷煤实践

安武生 , 杨宗成 , 孙宏武

钢铁

介绍了凌钢高炉喷煤的工艺流程和设备.并对高炉喷煤后取得的良好效果和喷煤操作实践中遇到的问题进行了分析.

关键词: 高炉 , 煤粉喷吹 , 实践

凌钢钢渣处理生产实践

齐鹤云

钢铁

介绍了凌钢钢渣处理生产工艺流程、主要设备性能参数及钢渣处理关键技术环节,包括高温钢渣运输、焖渣效果控制、磁选设备安装和布置等,同时介绍了钢渣处理所回收产品的种类和用途,指出钢渣处理过程中存在的问题并提出了解决措施.实践结果表明:凌钢钢渣处理生产线经多次技改后,工艺布置合理,处理效果好,运行费用低,有效解决了钢渣外排带来的经济损失以及环保问题.

关键词: 钢渣 , 焖渣 , 磁选

凌钢高炉喷煤工程投产实践

安武生 , 杨宗成 , 孙宏武

钢铁

凌钢喷煤工程制粉系统采用中速磨短流程工艺,喷吹系统采用浓相输送技术,试生产期间无法实现正常喷吹.针对存在的问题进行了一系列的技术改造和工艺参数调整.自1998年投入运行以来,该系统运行正常,喷煤量达到了设计水平.

关键词: 高炉 , 喷煤 , 实践

凌钢小方坯连铸机高效化技术改造

郝志强 , 郭宝志 , 闫清军

钢铁

介绍了凌源钢铁公司与连铸技术国家工程研究中心合作,对凌钢150 mm×150 mm小方坯连铸机进行高效化改造的情况.采用国内自主开发的抛物线型连续锥度结晶器、半板弹簧振动装置、连续矫直拉矫机、二冷优化等设备和技术对小方坯连铸机进行改造,实现了"高拉速、高作业率、高连浇炉数、高质量和高效益"的高效化目标.

关键词: 小方坯 , 高效 , 连铸

开封惠济河水系底泥重金属污染与潜在生态风险评价

王洪涛 , 张俊华 , 张天宁 , 姜玉玲 , 丁少峰 , 郭廷忠

环境化学 doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2016.08.2015123101

以惠济河水系开封段底泥为研究对象,沿河采集75个底泥样品,测定了样品中重金属Cd、Cr、Cu、Ni、Pb和Zn的含量,并采用富集系数法分析重金属富集污染程度和潜在生态风险指数法评价重金属的潜在生态风险.结果表明,惠济河开封段底泥Cd、Cr、Cu、Ni、Pb和Zn平均含量分别为24.51、67.86、290.65、28.46、115.34、1936.95 mg·kg-1,远高于我国潮土背景值.富集系数分析表明,底泥各重金属污染程度由高到低依次为:Cd(146.10) ＞Zn(19.62)＞ Cu(9.89) ＞Pb(3.83) ＞Cr(0.89) ＞Ni(0.88),其中Cd、Cu、Zn已显著富集污染,Cr、Ni无明显富集污染.生态风险评价结果表明,底泥各重金属平均潜在生态风险系数的大小顺序依次为:Cd＞Cu＞Zn＞Pb＞Ni＞Cr,6种重金属综合潜在生态风险指数(RI)平均值为7259.21,属于很强生态风险,RI“很强”等级样点主要分布在黄汴河、化肥河、惠济河下游及马家河下游河段,镉是最主要的潜在生态风险因子.

关键词: 开封市 , 惠济河 , 底泥 , 富集 , 潜在生态风险