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O2气流量对MOCVD法生长ZnO薄膜性质的影响

马艳 , 杜国同 , 杨树人 , 李正庭 , 李万成 , 杨天鹏 , 张源涛 , 赵佰军 , 杨小天 , 大力

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.02.005

采用低压MOCVD方法,在(0001)Al2O3衬底上沉积了ZnO薄膜.研究了Ⅵ族源O2气流量的变化对薄膜结构、表面形貌及光致发光特性的影响.增加O2气流量,ZnO薄膜结晶质量有所降低,半高宽从0.20°展宽至0.30°,由单一c轴取向变成无取向薄膜.同时,生成的柱状晶粒平均尺寸减少,晶粒更加均匀,均方根粗糙度减小.PL谱分析表明:随O2气流量加大,带边峰明显增强,深能级峰明显减弱,ZnO薄膜光学质量提高.这些事实说明:在本实验条件下,采用低压MOCVD方法生长的ZnO薄膜在光致发光特性主要依赖于Zn、O组份配比,而不是薄膜的微观结构质量.

关键词: ZnO薄膜 , MOCVD , PL谱

MOCVD法氧化锌单晶薄膜生长

博阳 , 杜国同 , 杨小天 , 赵佰军 , 张源涛 , 高锦岳 , 大力 , 杨树人

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.02.005

介绍了氧化锌材料的一些突出特性以及生长氧化锌的方法.并通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法制备了优良的氧化锌薄膜.使用X射线衍射(XRD)谱和室温光致发光(PL)光谱对所生长氧化锌薄膜的晶体质量和光学特性进行了研究. X射线衍射谱图显示仅在2θ=34.72 °处有一个很陡峭的ZnO (002) 晶面衍射峰,说明所制备的氧化锌薄膜c轴取向高度一致.此衍射峰的半高宽为0.282 °,显示出较好的晶体质量.在室温光致发光谱中, 薄膜的紫外发光强度与深能级复合发光的强度比超过10∶1,表明薄膜的光学质量较高.

关键词: 氧化锌 , 金属有机化学气相沉积 , 薄膜 , 生长

300mm Si外延片表面颗粒缺陷的研究

大力 , 冯泉林 , 周旗钢 , 何自强 , 常麟 , 闫志瑞

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2012.03.021

研究了不同拉晶速率对300 mm硅外延片表面缺陷的影响,SP1(表面激光颗粒扫描仪)测试结果表明:较低的拉晶速率下,外延片表面出现环状颗粒缺陷分布带;较高的拉晶速率下,外延片表面的环形缺陷带消失.利用Femag-CZ软件模拟了不同速率下晶体的生长结果,结合其c;-cv分布图,分析出这种环状分布的颗粒缺陷是由于晶体中间隙原子富集区产生的微缺陷,在外延过程中( 1050℃)聚集长大,从而在界面处造成晶格畸变引起的.随着衬底拉速的降低,间隙原子富集区的面积增大,硅片外延后越容易出现环状分布的颗粒缺陷.因此在单晶拉制过程中,为了避免这种环状缺陷的产生,应适当提高晶体的拉速.

关键词: 颗粒缺陷 , 外延 , SP1 , 拉速

多晶硅沉积厚度对氧沉淀和洁净区形成的影响

黄栋栋 , 曲翔 , 大力 , 周旗钢 , 刘斌 , 红艳

稀有金属 doi:10.13373/j.cnki.cjrm.XY15051401

硅片背面沉积多晶硅是半导体生产中常用的吸杂手段,多晶硅中存在着大量的晶界,可以吸除金属杂质,它还可以影响硅片内氧沉淀的分布,增强内吸杂的作用.通过控制低压化学气相沉积(LPCVD)系统的沉积时间,在硅片背面沉积不同厚度的多晶硅薄膜,借助择优腐蚀和金相显微(OM)观察等手段研究了沉积厚度对重掺硼硅片内氧沉淀形成与分布的影响.结果表明:沉积的多晶硅薄膜越厚,硅片的形变量越大,小尺寸的氧沉淀数量增多并在表面附近聚集,大尺寸的氧沉淀则倾向于在体内和背面形成,洁净区的厚度则减小直至无洁净区建立.多晶硅薄膜通过对硅片施加应力引起硅片形变,从而影响氧沉淀硅片体内形成的位置,起到促进内吸杂的作用.最佳多晶硅沉积厚度为800 nm.

关键词: 重掺硅片 , 多晶硅吸杂 , 择优腐蚀 , 氧沉淀

宗昌等《贝氏体铁素体的形核》一文

徐祖耀

材料热处理学报

文中,关于贝氏体形成机制,包括形核过程的文献很少被引述。作者(等)的主要论点为贝氏体铁素体以无扩散、非切变机制在奥氏体内贫碳区形核,并未引述形成贫碳区的必要条件。本文作者强调,在钢及铜合金中,不可能由Spinodal分解和位错偏聚形成贫溶质区。等的理念未得到先进理论观点和精细实验结果的支持。在文中,据此对临界核心大小和形核能的计算并无显著意义,期望青年学者对贝氏体相变机制作进一步研究。

关键词: 贝氏体形核 , 扩散机制 , 切变机制 , 贫碳区

汝官瓷、张公巷窑青瓷和家门窑青瓷的判别分析研究

蔡敏敏 , 李国霞 , 赵维娟 , 李融武 , 赵文军 , 承焕生 , 郭敏

硅酸盐通报

利用质子激发X射线荧光分析(PIXE)测试分析汝官瓷、张公巷窑青瓷和家门窑青瓷样品的主要化学组成,用多元统计判别分析方法对数据进行分析,以确定它们的分类和起源关系.结果表明:汝官瓷、张公巷窑青瓷和家门窑青瓷釉基本能很好的区分;但是胎区分得不是很理想,张公巷窑青瓷的胎可以和汝官瓷、家门窑青瓷胎很好的区分,汝官瓷胎和家门窑青瓷胎有个别样品不能分开.

关键词: 汝官瓷 , 张公巷窑青瓷 , 家门窑青瓷 , 判别分析

大力开发应用玻璃钢夹砂管道

封惠敏 , 相玉芬

玻璃钢/复合材料 doi:10.3969/j.issn.1003-0999.2000.06.011

本文对玻璃钢夹砂管的机械性能、耐腐蚀性能、水利特性、输水水质、环境适应性以及用作地埋管道工程的经济性进行了论述,并呼吁大力开发应用该产品.

关键词: 玻璃钢夹砂管 , 特点 , 经济

推进精料技术,大力提高高炉喷煤

郭可中 , 李肇毅

钢铁

宝钢的3座高炉(1、2号高炉内容积均为4 063 m3,3号高炉4 350 m3)现处于满负荷生产.近年来在生产技术上大力提高高炉喷煤,1号高炉1999年年均喷煤比达238 kg/t铁.高炉生产取得如此巨大的进步,得益于精料技术的推进,得益于高炉操作技术以及长寿技术同步发展.

关键词: 精料 , 喷煤

汝官瓷、钧官瓷和家门窑青瓷的多元统计分析

肖朋飞 , 赵红梅 , 李融武 , 赵文军 , 李国霞 , 赵维娟 , 承焕生

硅酸盐通报

本文采用质子激发X射线荧光分析(PIXE)技术测试了34个汝官瓷样品、30个蓝色系列钧官瓷样品(不含红釉系列)和17个家门窑青瓷样品的主量化学组成含量,根据这些样品的主量化学组成含量数据,应用多元统计分析方法进行分析.结果表明:汝官瓷、钧官瓷和家门窑青瓷的釉样品能够较好的区分开;但是3种瓷胎并不能很好的分开.

关键词: 汝官瓷 , 钧官瓷 , 家门窑青瓷 , PIXE , 因子分析

大力开发黄金工业材料市场

安立敦

黄金 doi:10.3969/j.issn.1001-1277.2005.11.002

与其它贵金属材料相比,黄金的价格近10年来基本稳定,主要是因为80%黄金用于珠宝饰物,工业应用仅占12%.为使黄金升值,必须大力培育和开发新的市场需求,主要有以下五个方面市场:①污染和废气控制技术(包括燃料电池);②在先进电子和电学系统中的新应用;③金作为催化剂的化学反应过程;④先进的功能(纳米)涂料;⑤新的生物医学应用.黄金的许多新应用将在今后10年内逐渐出现,从而导致黄金市场的可持续增长.显然,许多新用途是基于化学合成,而不是传统的材料和机械工艺技术.文中重点介绍了金作为催化剂材料新的工业应用和研究开发现状,特别是一氧化碳(CO)低温氧化金催化剂.该催化剂可提高我军的装备现代化水平和战斗力,推广至消防和民用更具有重大意义.

关键词: 黄金 , 需求 , 工业应用 , 金催化剂

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