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在镜像投影曝光机上使用相移掩膜提高解像力的初步研究

黎午升 , 惠官宝 , 崔承镇 , 史大为 , 郭建 , , 薛建设

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20142904.0544

实现高PPI(单位面积像素个数),需要更细的线宽和更窄的间距,这往往受到光刻设备解像力的限制,本文对基于不改造镜像投影曝光设备而提高光刻解像力进行研究.用半导体工艺模拟以及器件模拟软件模拟分析了离焦量为0时,相位移掩膜和传统掩膜下2.5 μm等间隔线的光强分布.根据设备参数模拟分析离焦量为15、30 μm时通过掩膜得到的光刻间距情况,最后,实际比较测量了相同条件下各自曝光剂量范围和切面坡度角.实验结果表明:相位移掩膜能使镜像投影曝光机分辨力以下间距(线宽)的工艺容限增大1倍,并使相应曝光量下间距(线宽)的分布更集中,从而增加细线化的稳定性.使用相位移掩膜能提高镜像投影曝光机的解像力.

关键词: 相移掩膜 , 等间隔线 , 模拟 , 曝光容限 , 解像力

胶西北前家—洼家断裂带构造地球化学找矿预测

祝涛 , 杨斌

黄金 doi:10.11792/hj20160103

马虎沟测区位于灵北断裂带下盘,区内主干断裂为前家—洼家断裂,发育似斑状郭家岭型花岗闪长岩和玲珑型片麻状黑云母花岗岩. 本次地表构造地球化学测量范围约15 km2 ,采集构造地球化学样品共858件,测试元素包括Au、Ni、Pb、Co、Mo、Sn、Zn、Ti、Cr、As、Sb、Hg、Ag、Cu、Ba、Bi、B、Mn、V等19种. Au元素异常沿前家—洼家断裂带及次级断裂分布特征明显. 分形分维统计表明,Au具有多阶段成矿的特征. 结合多元统计分析,厘定本测区构造地球化学异常找矿标志为Au-Pb-Bi元素组合异常及因子得分Y(i,2)和Y(i,3)异常. 结合地质分析,圈定找矿靶区5处.

关键词: 找矿预测 , 构造地球化学 , 多元统计分析 , 家—洼家断裂带

脉冲烟酸电镀银

徐晶 , 郭永 , , 赵璐 , 李江 , 赵建国

材料保护

采用正交试验法确定了烟酸无氰脉冲镀银的工艺条件,分析比较了脉冲、单脉冲及直流镀银层的沉积速率、外观质量、抗变色能力及表面形貌.结果表明:脉冲镀银层的XRD衍射峰沿(220)面择优取向程度最强,获得的镀银层更加光亮、结晶细致,抗变色性能最好;直流、单脉冲、脉冲镀层的银晶均为立方晶系.

关键词: 烟酸电镀银 , 脉冲 , 沉积速率 , 抗变色能力

金一金碰撞中由光子过程产生的软轻子

傅永平 , 李云德

原子核物理评论

计算了由准相干光子相互作用导致的低横动量轻子产生。对于不同的质量范围,准相干光子相互作用在低横动量区域都很重要。将计算结果与相对论重离子对撞机RHIC的PHENIX实验数据进行比较,发现随着轻子不变质量的增加,准相干光子过程的修正作用会更加明显。

关键词: 光子相互作用 , 相对论重离子碰撞 , 轻子产生

涂装色车生产工艺

张辉

电镀与涂饰

色车属于特殊颜色车身,其外表面颜色通常在2种以上.精益的色车生产工艺不仅能提高车身外观质量,而且能降低能耗及单车成本.本文对色车生产工艺作了详细的介绍,包括色漆和清漆的第一、第二遍喷涂以及中涂遮蔽打磨等工艺流程.

关键词: 色车 , 涂装 , 打磨 , 色漆 , 清漆

电子缝干涉的量子理论

青心

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2001.03.002

用Feynman泛函积分(路径积分)方法分析了电子缝干涉,结论与光的缝干涉完全一致.在将Vierbein表述的局域Lorentz群引力规范理论、狭义相对论(SR)与量子论协调成统一体系的基础上,澄清了对电子缝干涉的众说纷纭的诠释.

关键词: 泛函积分 , 缝干涉 , 引力规范理论 , 度规波 , 诠释

酚A型酚醛树脂改性氰胺固化环氧树脂行为的研究

唐囡 , 杨又华 , 邓静伟 , 周建萍 , 刘志雷 , 刘光明

表面技术

目的得到一种低温快速固化的潜伏性氰胺固化剂。方法利用红外光谱对合成的新型酚A型酚醛树脂改性氰胺潜伏性固化剂的结构进行表征,研究氰胺和酚醛不同配比对固化漆膜性能的影响,采用示差扫描量热( DSC)分析研究改性后固化剂的活性、用量及固化温度。结果氰胺和酚醛较好的摩尔比为0.6:1,改性固化剂的最佳用量为30%(相对环氧树脂的质量分数),改性后的恒温固化温度为127℃。结论该配方合成的酚A型酚醛树脂改性氰胺固化剂具有最好的综合性能。

关键词: 酚醛 , 氰胺 , 潜伏固化剂 , 改性

存储伪并行LCoS微显示器交流驱动的研究

任立儒 , 耿卫东 , 钟林

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2003.03.010

存储式驱动的LCoS微显示器引入了一些新的问题,对此提出了应用于存储式驱动的LCoS微显示器的新的交流驱动方式,通过互补驱动信号电压和浮动公共电极电压相结合的方法,不但满足了LCoS的要求,而且降低了工作电压.

关键词: 存储伪并行LCoS微显示器 , 互补 , 浮动

源供暖(空调)系统应用分析

李霞 , 徐二树

工程热物理学报

本文首先对北京市现有能源消费、供应情况和存在问题及源供暖(空调)系统的特点进行了简要的分析,然后进一步结合案例探讨了源供暖(空调)系统的节能和环保优势,以及该系统对于电力和燃气系统季节性调峰具有的积极意义.

关键词: 天然气 , 源供暖(空调)系统 , 节能 , 环保

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