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硅通孔铜互连甲基磺酸铜电镀液中氯离子的作用

季春花 , 凌惠琴 , 曹海勇 , 李明 , 毛大立

电镀与涂饰

研究了硅通孔(TSV)镀铜用甲基磺酸铜高速镀液(由Cu(CH3SO3)2 40 g/L、甲基磺酸60 g/L及Cl- 50 mg/L组成)中氯离子的作用机理.采用旋转圆盘电极研究了不同扩散条件下Cl-的作用效果,并采用电化学阻抗谱(EIS)和电子顺磁共振(EPR)探讨了Cl-在铜电化学沉积中的影响机制和对Cu+配位场的影响.结果表明:在深孔内扩散控制条件下,Cl-对铜沉积有明显的加速作用;在表面非扩散控制区域,尤其是高电流密度区,Cl-具有一定的抑制效果.因此,Cl-的存在有利于改善TSV深孔镀铜填充效果,提高填充速率.

关键词: 硅通孔 , 铜互连 , 电镀 , 氯离子 , 甲基磺酸盐

H3PO4溶液中迎春花叶提取物对锌的缓蚀行为

邓书端 , 李向红 , 付惠 , 张小红

腐蚀与防护

采用失重法和动电位极化曲线研究了迎春花(Jasminum Nudiflorum Lindl)叶提取物(JNLLE)在0.1 mol/LHa PO4溶液中对锌的缓蚀行为.结果表明,JNLLE在H3 PO4溶液中对锌具有良好的缓蚀作用,缓蚀率随缓蚀剂浓度的增加而增大,但随温度的升高而降低.JNLLE在锌表面的吸附符合Langmuir吸附等温式,求出了吸附热力学参数(吸附焓△H0,吸附Gibbs自由能AG0,吸附熵AS),并据此探讨了缓蚀剂的吸附行为.动电位极化曲线表明,JNLLE为混合抑制型缓蚀剂.

关键词: , 缓蚀 , 春花 , 提取物 , 磷酸 , 吸附

高效液相色谱法同时测定长春花中的文多灵、长春质碱和脱水长春碱

杨蕾 , 唐中华 , 祖元刚

色谱 doi:10.3321/j.issn:1000-8713.2007.04.022

运用高效液相色谱(HPLC)梯度洗脱同时测定了长春花中的文多灵、长春质碱和脱水长春碱等3种生物碱.色谱柱为Waters 5C18-MS-Ⅱ(4.6 mm×250 mm),流动相为甲醇-1%二乙胺(磷酸调pH至7.3)系统,梯度洗脱,检测波长220 nm,柱温25 ℃.实验结果表明,文多灵、长春质碱和脱水长春碱等3种生物碱分别在0.03~1 mg/mL,0.03~1 mg/mL和0.01~0.5 mg/mL时线性关系良好,平均加样回收率分别为96.8%,97.0%和96.4%,相对标准偏差(RSD)分别为1.53%,1.37%和1.96%.用该法同时检测了不同干旱条件处理下长春花样品中的文多灵、长春质碱和脱水长春碱,方法准确、快速、简便.

关键词: 高效液相色谱法 , 文多灵 , 长春质碱 , 脱水长春碱 , 春花

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