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金属刻蚀后清洗导致AlSiCu互连线空洞问题的研究和对策

, 朱亦鸣

材料科学与工程学报

集成电路制造中,AlSiCu互连线一般使用干法刻蚀来制造,刻蚀后需经清洗工艺将残留物去除掉。而在清洗时,合金表面会出现空洞。我们在对空洞形成原理分析后发现,AlSiCu合金是由α相铝铜和富含Cu的θ相铝铜合金组成,在清洗过程中会发生电偶腐蚀而腐蚀Al。并且清洗使用的化学试剂由于含有胺根,水解后加剧了对Al的腐蚀。我们通过降低AlSiCu合金溅射时的衬底温度,将AlSiCu合金表面氧化,去离子水清洗时通入CO2这三种方案来防止AlSiCu合金在清洗时被腐蚀,从而提高了产品的成品率。

关键词: AlSiCu互连 , 刻蚀后残留物 , 清洗 , 空洞

碳赋

王寒冰

新型炭材料

杨全红教授在天津大学化工学院开设“碳质纳米材料和绿色电源科技”课程多年,后又在天津大学全校范围内开设“简单造就神奇--从富勒烯、碳纳米管到石墨烯”的创新选修课。“梦想照进现实”、“简单造就神奇”以及“科研嗅觉、科研味觉”是这两门课共同的主题词。科学追梦之旅中的“柳暗花明”和“无心插柳”、纳观世界中的“至简至奇”触动着少年同学的心弦;潜移默化中,“灵敏嗅觉”和“发达味觉”成为少年同学对“创新”的理解……课后作业,同学们用诗词歌赋书写着对科学的热爱和科研生活的憧憬……此文为其中的一篇作业,作者为天津大学化工学院2008级王寒冰同学。该文生动地描述了富勒烯发现中的“意外之”、碳纳米管发现中的“失落之”以及石墨烯发现中的“追寻之”,字里行间透着对“碳”之“”和科研之美的感悟……

关键词:

四苯基卟铟纳米材料的制备及其光学传感性能研究

侯长军 , 刘琛 , 霍丹群 , 法焕宝 , 杨眉 , 向芸颉 , 宋坤 , 陈泳池 , 卢中明

功能材料

在水/二甲基亚砜(DMSO)的混合溶液体系中,利用自组装方法,使5,10,15,20-四苯基卟铟(InTPP)分子聚集成纳米材料,并研究了其最优制备温度为50℃.通过场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)对铟卟啉纳米材料的表面形貌进行了研究,可获得粒径为100~200nm的棒状铟卟啉纳米材料.利用紫外-可见光谱分析了铟卟啉单体与纳米材料光学性质的差别:在紫外-可见光谱中,铟卟啉纳米分散体系的Soret带吸收峰从原来的423nm分别红移到433和453nm,吸光值明显减小,峰形呈劈裂状且明显变宽.利用紫外-可见光谱对铟卟啉的光学检测性能进行了研究,将铟卟啉单体和纳米溶液体系对低浓度甲基膦酸二甲酯(DMMP)的检测效果进行了对比,结果显示铟卟啉纳米溶液体系的检测效果明显优于单体.

关键词: 铟卟啉 , 纳米材料 , 检测 , 甲基膦酸二甲酯 , 光学性能

TiN涂层中的择取向及其对涂层性能的影响

宫秀敏 , 叶卫平 , 孙伟 , 许大庆 , 朱小清

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2000.01.008

对TiN多弧离子镀层的质量和性能进行了试验与分析.结果表明,涂层择取向对其质量和性能有影响,具有强烈TiN(111)择优取向的涂层表面光亮、硬度高、耐磨性好,与基体有较高的结合强度.

关键词: 涂层 , 取向 , 性能

稀土元素对Fe-Cr-Al合金1200℃氧化层择取向的影响

张立新 , 骆继勋 , 银耀德 , 李黎光 , 赵齐 , 张家芸

金属学报

本文用倒极图法研究了含0.5%Y和0.15%(La+Ce)稀土对Fe-Cr-Al合金在1200℃氧化时氧化层择取向的影响。 稀土元素对氧化层择取向类型的影响较小,三种合金的主要择取向都是(01(?)8),次要择取向有所区别:含稀土的合金是(11(?)9)、(10(?)10),不含稀土的合金是(0001)、(10(?)10)。稀土元素对增强和保持氧化层择取向的能力作用较大,其中Y比(La+Ce)的作用更为明显。 本文应用短路扩散位错通道的模型描述合金的氧化过程,使得氧化层的P_(10(?)1)系数曲线的变化和氧化动力学曲线的变化得到较好的吻合,这说明稀土元素的作用是通过改变氧化层的择取向来影响合金的抗氧化性能的。

关键词:

平行催化氢波法测定非甾体抗炎药尼舒利

马淮凌 , 凌翠霞 , 马啸华

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2006.12.012

在KH2PO4-Na2HPO4(pH 6.24±0.1)支持电解质中,N-(4-硝基-2-苯氧基苯基)(尼舒利,nimesulide)甲基磺酰胺产生1个催化氢波,峰电位Ep=-1.20 V(vs.SCE).加入K2S2O8后,该催化氢波被催化,峰电流增加约20倍,峰电位基本不变,产生1个较灵敏的平行催化氢波.其二阶导数峰峰电流i"p与尼舒利浓度在4.0×10-7~8.0×10-6 mol/L范围内呈线性关系(r=0.988 6,n=9),检出限为2.0×10-7 mol/L.该方法可用于药物制剂中尼舒利含量的测定.

关键词: 舒利 , 过二硫酸钾 , 催化氢波 , 平行催化氢波

(S)-托洛尔的不对称合成

宋光伟 , 朱锦桃 , 姚国新 , 陈刚

应用化学 doi:10.3724/SP.J.1095.2010.90880

用自制的(S,S)-Salen Co(Ⅲ)OAc催化剂水解动力学拆分外消旋环氧氯丙烷得到高光学纯的(S)-3-氯-1,2-丙二醇和较高光学纯的(R)-环氧氯丙烷. 以(S)-3-氯-1,2-丙二醇为手性原料和4-(2-甲氧基乙基)苯酚缩合,再与氯化亚砜反应得环状亚硫酸酯,最后和异丙胺反应得(S)-托洛尔,光学纯度大于99%. 另外以(R)-环氧氯丙烷为手性原料和4-(2-甲氧基乙基)苯酚反应,再与异丙胺作用得到(S)-托洛尔,光学纯度大于92%. (S)-托洛尔的总收率为53.9%,结构经IR、1H NMR、13C NMR和MS测试技术确证. 该路线原料利用率高,拆分后的2种产物均能用于目标化合物的合成.

关键词: (S)-托洛尔 , 外消旋环氧氯丙烷 , 催化水解拆分 , (R)-环氧氯丙烷 , (S)-氯丙二醇 , 不对称合成

丝芯材4J43合金生产工艺初探

倪鲁峰

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2003.01.011

介绍了杜丝芯材合金4J43的主要性能,并根据生产实践,提出了该合金熔炼、热加工、拉丝等过程中的主要工艺措施,实现了4J43合金的批量生产.

关键词: , 熔炼 , 拉丝 , 4J43合金

β-环糊精衍生物对洛昔康的包合作用

王茹林 , 孙体健 , 裴晓丽 , 刁海鹏 , 陈明兰

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2008.10.022

采用荧光光谱法在pH值2.5、6.8和10.0的磷酸盐缓冲溶液中,研究了洛昔康与β-环糊精(β-CD)、羟丙基-β-环糊精(HP-β-CD)和磺丁醚-β-环糊精(SBE-β-CD)的包合特性. 洛昔康的最大发射波长依次紫移了7、9和14 nm,荧光强度变化(ΔF)的倒数与环糊精浓度(cCD)的倒数呈线性关系. 结果表明, 其与3种环糊精均形成了1∶ 1的包合物. 以包合常数作为包合作用的量度,则在酸性和中性条件下包合能力呈SBE-β-CD>HP-β-CD>β-CD. 包合过程除了疏水作用力外,还存在额外的静电作用力.

关键词: 洛昔康 , β-环糊精衍生物 , 包合作用 , 荧光光谱法

对苯二酚的氨基酸缀合物的合成、表征及白活性

付晓磊 , 赵春晖 , 张翼轩 , 陈艳华 , 李常 , 赵龙铉

应用化学 doi:10.11944/j.issn.1000-0518.2015.02.140151

以新药设计原理中的拼合原理为指导,将对苯二酚一侧酚羟基与具有生物活性的氨基酸进行偶联,以期得到活性更好、毒性更低的对苯二酚氨基酸缀合物.将对苯二酚的一侧酚羟基进行保护得到对苄氧基苯酚,将氨基被保护的氨基酸与其酚羟基进行偶联,去掉保护基后得到8种对苯二酚的氨基酸缀合物.在对苄氧基苯酚的酚羟基上引入乙酸连接片段,与氨基酸甲酯盐酸盐进行偶联,去掉保护基后得到8种对苯二酚的氨基酸缀合物.通过IR、1 H NMR、13C NMR和ESI-MS等技术手段对所合成的16种氨基酸缀合物进行了结构表征.对目标产物进行了白活性研究.结果表明,化合物HQ-3b、HQ-3c、HQ-4a、HQ-4b、HQ-7c和HQ-8a对酪氨酸酶的抑制作用优于阳性对照物α-熊果苷(IC.=3.60),其中HQ-4b的IC50值低至0.15,有望成为新型化妆品白剂.

关键词: 对苯二酚 , 氨基酸 , 白活性 , 合成

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