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在镜像投影曝光机上使用相移掩膜提高解像力的初步研究

黎午升 , 惠官宝 , , 史大为 , 郭建 , 孙双 , 薛建设

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20142904.0544

实现高PPI(单位面积像素个数),需要更细的线宽和更窄的间距,这往往受到光刻设备解像力的限制,本文对基于不改造镜像投影曝光设备而提高光刻解像力进行研究.用半导体工艺模拟以及器件模拟软件模拟分析了离焦量为0时,相位移掩膜和传统掩膜下2.5 μm等间隔线的光强分布.根据设备参数模拟分析离焦量为15、30 μm时通过掩膜得到的光刻间距情况,最后,实际比较测量了相同条件下各自曝光剂量范围和切面坡度角.实验结果表明:相位移掩膜能使镜像投影曝光机分辨力以下间距(线宽)的工艺容限增大1倍,并使相应曝光量下间距(线宽)的分布更集中,从而增加细线化的稳定性.使用相位移掩膜能提高镜像投影曝光机的解像力.

关键词: 相移掩膜 , 等间隔线 , 模拟 , 曝光容限 , 解像力

近代陶瓷科学技术在景德的传播

郑乃章 , 李原野 , 郑康妮 , 莫云杰 , 苗立峰

硅酸盐通报

本文回顾了清代中晚期后中国陶瓷技术从全盛走向停滞和西方近代陶瓷科学产生的历史,分析了近代陶瓷科学技术在景德传播的历程,界定了景德古陶瓷技术与其现代陶瓷技术的分界.指出:从清末到20世纪50年代,经过50余年的艰苦奋斗,近代陶瓷科学技术才在景德陶瓷业得以传播和推广应用;在这个历程中,一批近代陶瓷教育的先驱们起着巨大的作用;上世纪50年代政府设立的陶瓷科研机构和高等教育机构,才能真正使中国陶瓷技术传统转变为科学.

关键词: 近代陶瓷科学 , 传播 , 景德

景德明清以来低温黄釉的显微结构

孙加林 , 吴隽 ,

人工晶体学报

本课题以景德明清以来低温黄釉样品为研究对象,采用电子探针-能谱组合、透射电镜等仪器对样品断面进行显微结构分析,研究了景德低温黄釉的显微结构演变情况,发现景德低温黄釉主要有黄釉下施底釉和黄釉下无底釉两大类,并进一步分析了底釉的存在对黄釉品质的影响情况.研究得出黄釉与底釉、胎的中间层所析出晶体主要为铅长石,白釉、底釉与胎中间层所析出晶体主要为钙长石;同时,还发现民国黄釉表面存在一层细小的烧绿石型黄色Pb2Fe0.5Sb1.5O6.5晶体.

关键词: 景德 , 低温黄釉 , 显微结构

景德地区低品位红土作为紫砂原料的应用研究

黄钢 , 卢希龙 , 曹春娥 , 秦立邦 , 曾信谦 , 刘洋

硅酸盐通报

以景德地区低品位红土为主要原料制备出性能良好的紫砂泥浆,然后经注浆、干燥、烧成等工艺,得到效果良好的紫砂器.讨论了不同烧成温度对坯体吸水率、烧失量、烧成收缩和呈色的影响,采用XRD、XRF、SEM、EDS、色度分析等测试技术对红土的矿物组成、化学组成及烧成后紫砂瓷坯的晶相组成、显微结构及呈色等进行了表征.结果表明:景德低品位红土以石英、伊利石和白云母矿物为主;在1250℃烧成时坯体的吸水率最小,1280℃左右时坯体的收缩率、烧失率最大,其合适的烧成温度为1250℃左右;随烧成温度的提高,瓷坯由紫红→深紫红→红褐→灰褐色规律变化;制得紫砂瓷坯的主晶相为莫来石,同时还有部分残余石英相.

关键词: 红土 , 景德 , 紫砂 , 应用研究 , 性能表征

黄河压舟浮桥的腐蚀与防护

邵杰 , 孙志伟 , 曹瑞祥

腐蚀与防护

介绍黄河中压舟浮桥的特点,全面分析论述压舟浮桥的腐蚀.提出了一些防腐蚀的措施.

关键词: 黄河 , 浮桥 , 压舟 , 腐蚀 , 防腐措施

景德青花瓷彩上斑点显微结构的研究

吴隽 , 李家治 , 郭景坤

无机材料学报

通过对元代、明洪武及明宜德年间的景德青花瓷样品彩上斑点的显微结构和组成分析,研究了斑点的形成机理和组成,表明青花瓷彩上斑点是由青花钴料中的锰、铁、钴,经高温过程后,在釉熔体中的偏析所形成的,其物像组成,除主要取决于青花钴料中的锰、铁含量外,样品的胎、釉组成及烧成机制等也影响着铁的价态.

关键词: 青花瓷彩上斑点 , microstructure , cobalt bluepigment

景德青花瓷彩上斑点显微结构的研究

吴隽 , 李家治 , 郭景坤

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.01.024

通过对元代、明洪武及明宣德年间的景德青花瓷样品彩上斑点的显微结构和组成分析,研究了斑点的形成机理和组成,表明青花瓷彩上斑点是由青花钴料中的锰、铁、钴,经高温过程后,在釉熔体中的偏析所形成的,其物像组成, 除主要取决于青花钴料中的锰、铁含量外,样品的胎、釉组成及烧成机制等也影响着铁的价态.

关键词: 青花瓷彩上斑点 , 显微结构 , 青花钴料

钢成功轧制HRB600高强抗震钢筋

钢铁

近日,钢成功轧制规格为25mm的HRB600高强抗震钢筋300t,各项指标满足设计要求,填补了中国600MPa级别高强钢筋生产的空白。钢从2011年年初开始就提出了按照国家标准成分范围研制和开发600MPa级高强钢筋的科研攻关课题,

关键词: 抗震钢筋 , 轧制 , 钢筋生产 , 高强钢筋 , 国家标准

耐烧蚀力格栅成型工艺研究

徐戈

玻璃钢/复合材料 doi:10.3969/j.issn.1003-0999.2001.06.014

本文介绍了新型力格栅的研制,选用镁酚醛树脂作基体,4114纱无碱玻璃纤维预浸料和预混料混合增强材料,模压成型的工艺方法,使产品具有耐烧蚀、高强度、抗冲刷等性能.

关键词: 预浸料 , 预混料 , 模压

压灰口铸铁构件的强度分析

李克安

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.1999.04.018

现行灰口铸铁压构件的强度分析方法和强度条件计算式存在明显的缺陷和不足之处.本文在分析这一问题时计入了内摩擦力的影响,并给出了内摩擦角φ的取值范围,最后得到了更准确、更符合工程实际的强度条件.

关键词: 灰口铸铁 , 压缩破坏 , 强度条件 , 内摩擦力

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