金奉柱
,
崔瑩石
,
劉聖烈
,
張炳鉉
,
柳在一
,
李禹奉
,
李貞烈
,
Jung-yeal LEE
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.05.001
为了获得高的开口率,有必要优化设计参数和工艺容差.通常的过孔刻蚀工艺采用SF6基气体进行刻蚀,但是这种方法在金属和钝化层之间的选择性太小,因此,必须增加过孔的尺寸才行.为了克服上述问题,在本研究中用CF4气体代替 SF6气体进行刻蚀,结果在FFS 5.16(2.03 in)像素结构中,开口率提高了60 %.
关键词:
TFT-LCD
,
开口率
,
刻蚀
,
CF4等离子体
宋泳锡
,
劉聖烈
,
柳在一
,
張炳鉉
,
李禹奉
,
李貞烈
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.05.009
为了获得更高性能的TFT-LCD面板,在光刻时保证精细的图形成像十分重要,其中,如何制作出尺寸更小的通孔图形是主要的问题之一.本文提供的研究中,我们只简单地改变了一下烘烤工艺,而不需要改变Eop和显影时间,就可以将通孔图形的尺寸减小20 %～25 %.在后续的刻蚀工艺中,通孔的尺寸能显著减小.
关键词:
TFT-LCD
,
光刻
,
通孔图形
,
尺寸
叶俊
,
姜炳卫
腐蚀学报（英文）
塑膜内衬管线修复叶俊姜炳卫(中原石油勘探局采油六厂山东东明274511)油田污水矿化度高,并含有CO2、H2S等腐蚀性介质,腐蚀性较强,给油田带来了严重的经济损失,影响了油田的正常生产.塑膜内衬修复管线是目前管线内防腐的一项新技术,造价低,施工工序简单.现就塑膜内衬施工中的若干环节谈点经验.管线内衬塑膜防腐施工主要有以下几个工序:通球、清洗、除锈、衬膜四个环节,每个环节对衬膜施工都是非常重要的.由于现场施工管线大部分?...
关键词:
炎正馨
,
王瑞平
,
郭明环
,
胡栋
材料导报
通过拟合温度得到了纳米铝粉在环氧丙炳快速反应中的反应率,结果表明:先前的理论模型不适用纳米铝粉的低点火温度原因的解释.在爆炸激波管内采集到了纳米铝粉多隙氧化物的辐射谱,通过对所得光谱的拟合,得出其反应温度约为3100K,误差不足100K.由于在谱的背景上,同时观察到了Al和AlO的线,AlO的谱强度随入射激波传播速度增大而加强.反应致密产物的辐射比相同温度下钨带灯的辐射要强.
关键词:
纳米铝粉
,
辐射谱
,
温度
龚秀峰
,
李敏霞
,
马一太
,
张志巍
工程热物理学报
利用喷射器代替节流阀作为CO2制冷循环的主要膨胀装置,回收膨胀过程的部分动能,减少节流损失,降低压缩机耗功,并通过在压缩机进气前开一旁路,调节压缩机进气量,使系统稳定.对喷射循环与节流阀循环、膨胀机循环进行了性能比较,得出了喷射器循环相对于其他两种循环的优势;并对系统中各个参数对系统性能的影响进行了分析,系统蒸发和冷却温度对COP影响较大;最后对系统炯分析得到蒸发器到喷嘴后的压力差对COP和炳损失的影响较大.
关键词:
压缩/喷射循环
,
CO2
,
喷射器
,
热力学分析
連雙喜
,
陳柏楊
,
劉世賢
,
蔡辛慈
材料导报
熔融還原煉鐵法爲直接以煤及鐵礦粉取代焦碳和燒結礦爲原料的一替代性有發展潜力的制程.而熔融還原爐法中鐵礦還原速率之好壞與泡沫渣之控制,亦即溶渣的黏度、表面張力及密度和温度等有極重要的關系.本文主要希望介绍熔融還原煉鐵法爐渣黏度與爐渣成份及温度等變數之關系.研究的爐渣成份主要分成兩大類,分别是①四元系列的SiO2-CaO-MgO-Al2O3,鹽基度變化爲0.9～1.3;②氧化鐵範圍爲FeO 1%～7%,氧化镁MgO,鹽基度固定爲1.08的五元渣系SiO2-CaO-MgOsat-Al2O3-FeO爐渣.實難以高温轉鉅黏度計,量測不同成份及温度的黏度值.實難結果發現黏度與温度基本上呈反比的趨勢,可以Arrhenius equation或Eyring′s expression式子說明黏度與温度的關系.有關黏度與成份的關系,分别以熱力學綱状結構黏度模式、氧橋鍵結矽離子黏度模式與光學鹽基度黏度模式計算其黏度值,其結果爲利用氧橋鍵矽離子黏度模式與本實難的黏度量測值及文獻黏度量測值最接近.基本上黏度值随基鹽度的上升及随FeO量增加而下降,但黏度随著SiO2量增加而增加.至於黏度與温度則呈現反比的趨勢.
关键词:
熔融還原
,
鐵渣
,
黏度
,
計算模式
材料导报
熔融還原煉鐵法爲直接以煤及鐵礦粉取代焦碳和燒結礦爲原料的一替代性有發展潜力的制程.而熔融還原爐法中鐵礦還原速率之好壞與泡沫渣之控制,亦即溶渣的黏度、表面張力及密度和温度等有極重要的關系.本文主要希望介紹熔融還原煉鐵法爐渣黏度與爐渣成份及温度等變數之關系.研究的爐渣成份主要分成雨大類,分别是①四元系列的SiO2-CaO-MgO-Al2O3,鹽基度變化爲0.9～1.3;②氧化鐵範圍爲FeO 1%～7%,氧化鎂MgO,鹽基度固定爲1.08的五元渣系SiO2-CaO-MgOsat-Al2O3-FeO爐渣.實驗以高温轉鉅黏度計,量測不同成份及温度的黏度值.實驗結果發現黏度與温度基本上呈反比的趨势,可以Arrhenius equation或Eyring's expression式子說明黏度與温度的關系.有關黏度與成份的關系,分别以熱力學網状結構黏度模式、氧橋鍵結矽離子黏度模式與光學鹽基度黏度模式計算其黏度值,其結果爲利用氧橋鍵矽離子黏度模式與本實驗的黏度量測值及文獻黏度量測值最接近.基本上黏度值随基鹽度的上升及随FeO量增加而下降,但黏度随著SiO2量增加而增加.至於黏度與温度則呈現反比的趋势.
关键词:
熔融還原
,
鐵渣
,
黏度
,
計算模式
