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影响化学机械抛光4H导电SiC晶片表面质量的关键参数研究

郭钰 , , 刘春俊 , 袁文霞 , 蔡振立 , 张贺 , 王波

人工晶体学报

选用二氧化硅抛光液抛光4H导电SiC晶片表面,探究影响SiC晶片表面质量的关键参数,获得更高的去除效率和表面质量.实验结果表明,SiC表面的氧化是氢氧根离子和双氧水共同作用的结果.保持压力不变并增加氢氧根离子或双氧水的含量,SiC表面去除速率先增加后保持不变.在更大的压力下增加氢氧根离子的含量,SiC表面的抛光去除速率进一步增加.通过优化的抛光参数,SiC表面的抛光去除速率达到142 nm/h.进一步研究结果表明,保持化学机械抛光过程中氧化作用与机械作用相匹配,是获得高抛光效率和良好的表面质量的关键.表面缺陷检测仪(Candela)和原子力显微镜(AFM)的测试结果表明,SiC抛光片表面无划痕,粗糙度达到0.06 nm.外延后总缺陷密度小于1个/cm2,粗糙度达到0.16 nm.

关键词: 碳化硅 , 化学机械抛光 , pH值 , 压力 , 双氧水

兰州宁阱核心电极的最优电压幅值计算

孙宇梁 , 王永生 , 田玉林 , 王均英 , 黄文学

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.32.03.341

宁阱是用于直接测量原子核质量的精确设备.为了保证宁阱的测量精度,需在阱中心产生精准的四极静电场,而四极静电场是通过对宁阱的核心电极施加合适的电压产生的.采用公式推导法和最小二乘法两种方法计算得到了LPT核心电极需加电压幅值.对于公式推导法,电压值完全从理论出发,经公式推导后计算得到;最小二乘法的出发点是使取样偏差的平方和最小,且通过仿真模拟考虑了电极的实际几何形状.由这两种方法得到的非四极项系数C4和C6,可用于估算因偏离理想四极电场所产生的实验误差.虽然这两种方法的出发点不同,但都可以在阱中心产生需要的四极电场.

关键词: 宁阱 , 质量测量 , 四极电场 , 电极电压

第四届“吴仲奖励基金”评选出获奖者

工程热物理学报

根据《吴仲奖励基金章程》(吴奖[2008]01号),经各高等院校、中国工程热物理学会和中国科学院工程热物理研究所认真评选和推荐,吴仲奖励基金理事会评审并确定授予青年学者戴巍、罗坤、唐桂“吴仲优秀青年学者奖”,授予程雪涛等10位同学“吴仲优秀学生奖”。

关键词: 基金 , 奖励 , 评选 , 获奖者 , 中国科学院 , 青年学者 , 物理研究所 , 高等院校

第五届“吴仲奖励基金”评选出获奖者

工程热物理学报

根据《吴仲奖励基金章程》(吴奖[2010]01号),经各高校、中国工程热物理学会和中国科学院工程热物理研究所遴选和推荐,以及吴仲奖励基金理事会评审,决定授子钟文琪、张鹏、张明明、徐纲4位青年学者“吴仲优秀青年学者奖”,授予顾超等13位同学“吴仲优秀学生奖”。

关键词: 基金 , 奖励 , 获奖者 , 中国科学院 , 评选 , 青年学者 , 物理研究所 , 物理学会

钢种外径不同壁厚涡流探伤样管替代初探

王东 , 李士佩 , 张文

冶金分析 doi:10.3969/j.issn.1000-7571.2004.z2.037

利用涡流探伤原理中的涡流趋近钢管表面的趋肤效应现象,研究涡流探伤钢种、外径、不同壁厚试样的替代可行性.

关键词: 涡流探伤试样 , 趋肤效应

新大线沟敷设热力分析

凌霄 , 王艺 , 宇波 , 张劲军 , 王凯 , 达鑫

工程热物理学报

针对新大线沟敷设管道,采用非结构化有限容积法,分析了不同的物性条件下,常温输送原油对加热输送原油的热力影响.

关键词: 沟敷设 , 新大线 , 热力分析 , 数值模拟 , 有限容积法

“庆祝邵象院士百岁华诞座谈会”隆重召开

钢铁研究学报

2012年2月22日是两院院士邵象先生百岁华诞的大喜日子,2月21日上午,中国钢研科技集团有限公司为邵象院士百岁华诞举办了隆重的座谈会。

关键词: "庆祝邵象院士百岁华诞座谈会" , 钢铁工业 , 科技工作者 , 学术作风

“庆祝邵象院士百岁华诞座谈会”隆重召开

钢铁

2012年2月22日是两院院士邵象先生百岁华诞的大喜日子,2月21日上午,中国钢研科技集团有限公司为邵象院士百岁华诞举办了隆重的座谈会。座谈会会场一幅以长城和中国钢铁工业为背景的巨型彩色喷绘画卷蕴喻了邵象院士的成长经历和学术贡献。座谈会高朋满座,群贤毕集。中国材料界学术泰斗,国家最高科学技术奖获得者师昌绪院士、中国工程院名誉院长徐匡迪院士、中国科学院副院长李静海院士、

关键词: 师昌绪院士 , 国家最高科学技术奖 , 中国工程院 , 学术贡献 , 钢铁工业 , 中国科学院 , 成长经历 , 副院长

西安钊电子油科技有限公司——新型环保电接触表面润滑保护材料

材料保护

西安钊电子油科技有限公司是专业从事电接触表面的三防、润滑、保护材料研制和销售的高新技术企业。同时代销荏原优吉莱特(上海)贸易有限公司的电镀添加剂。

关键词: 保护材料 , 表面润滑 , 科技 , 电子 , 西安 , 电接触 , 环保 , 高新技术企业

根霉全细胞脂肪酶催化合成生物柴油

贺芹 , 徐岩 , 滕云 , 王栋

催化学报

比较了5种不同商品化脂肪酶和自制的根霉CCTCC M201021全细胞脂肪酶(RCL)催化油脂合成生物柴油的转化效果,结果表明, RCL能有效应用于无溶剂体系催化合成生物柴油. 在无溶剂体系中对该酶催化生物柴油的转酯化反应工艺进行优化,考察了甲醇用量、体系含水量、酶的添加量和反应温度对生物柴油收率的影响,使生物柴油最终收率大于86.0%. 在有机溶剂体系中选择不同有机溶剂作为助溶剂进行转酯化反应,发现log P值在4.0~4.5的有机溶剂具有较好的转化效果. 其中以正庚烷为助溶剂的转酯化反应具有最高的生物柴油收率86.7%. 在无溶剂体系中RCL催化转化油酸和模拟高酸价油脂合成脂肪酸甲酯的研究表明,该酶具有很好的催化合成生物柴油的潜力.

关键词: 根霉 , 全细胞脂肪酶 , 转酯化反应 , 生物柴油 , 脂肪酸甲酯 , 无溶剂体系 , 高酸价油脂

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