李欣予
,
王若铮
,
吴胜利
,
李尊朝
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20173205.0344
基于半导体仿真软件Silvaco TCAD对薄膜晶体管(TFT)进行器件仿真,并结合实验验证,重点分析不同绝缘层材料及结构对TFT器件性能的影响.仿真及实验所用薄膜晶体管为底栅电极结构,沟道层采用非晶IGZO材料,绝缘层采用SiNx和HfO2多种不同组合的叠层结构.仿真及实验结果表明:含有高k材料的栅绝缘层叠层结构较单一SiNx绝缘层结构的TFT性能更优;对SiNx/HfO2/SiNx栅绝缘层叠层结构TFT,HfO2取40 nm较为合适;对含有高k材料的3层和5层绝缘层叠层结构TFT,各叠层厚度相同的对称结构TFT性能最优.本文通过仿真获得了TFT性能较优的器件结构参数,对实际制备TFT器件具有指导作用.
关键词:
半导体器件仿真
,
薄膜晶体管
,
绝缘层
,
氮化硅
,
二氧化铪
,
叠层结构
王德强
,
陈玮
,
程继健
材料导报
介绍了目前国际上主要玻璃光波导的研究热点.简述了制备光波导的晶体材料、玻璃材料和高分予聚合物材料的优缺点.着重阐述了玻璃材料的研究进展.并简要介绍了采用硫卤玻璃制备非线性光波导的诱人前景.
关键词:
非线性材料
,
光波导
,
硫卤玻璃
,
离子交换
裴艳丽
,
杨德仁
材料导报
综述了硅中氮离子注入的应用和研究进展.主要讨论了氮离子注入形成SOI层的原理、质量的影响因素和电学性能;介绍了氮离子注入在制备超薄氧化栅极及其抑制掺杂杂质原子特别是硼原予扩散等方面的研究和应用.
关键词:
氮离子注入
,
硅
,
SOI
欧可辉
,
龚友夫
,
唐基禄
电镀与精饰
doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2003.01.013
简述铝件在进行碱洗、抛光、氧化和着色表面处理中,由原来单槽或两槽水清洗改为全线连续式逆流漂洗,用水量减少90%,节约水资源,又保证了产品质量.对含铬、磷及有机废水实施在线予处理与废水站同时处理,层层把关,降低了废水处理成本,保证废水外排合格.
关键词:
逆流漂洗
,
废水治理
,
铝氧化
陆建祖
,
魏红振
,
李玉鉴
,
张永刚
,
林世鸣
,
余金中
,
刘忠立
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.031
以SF6/N2混合气体对Si反应离子刻蚀工艺研究为例提出干法刻蚀计算机工艺模拟的方法:在分段拟合优化工艺条件下采用人工神经网络方法建立干法刻蚀仿真模型,可以予测给定射频功率、总气流量下刻蚀速率和纵横比,并且以仿真实验数据训练模型学习,模型具有通用性,与设备无关.
关键词:
干法刻蚀
,
工艺仿真
,
人工神经网络
单杭英
,
杨忠清
,
孙中涛
,
张海黎
玻璃钢/复合材料
通过对飞艇吊舱外挂结构特性的分析,以吊舱重量轻和制造成本低为设计目标,在对材料选取、结构布局和结构细节设计等方面进行综合优化设计.并通过有限元分析和静力试验对优化后的舱体结构进行静强度、刚度验证.计算及试验结果表明飞艇吊舱满足强度、刚度设计要求,结构重量比予定重量节省10％,从而可以增加有效任务载荷或减少浮囊体积.
关键词:
飞艇吊舱
,
外挂
,
优化设计
,
强度
,
刚度
季鑫
,
周细应
,
宓一鸣
材料导报
采用磁控溅射法在硅基材上制备了Al-Cu-Fe薄膜,采用原予力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)研究了不同溅射时间下Al-Cu-Fe薄膜的生长行为.结果表明.随着溅射时间的延长,Al-Cu-Fe薄膜的β晶相的衍射峰半峰宽逐渐减小,而λ晶相的衍射峰半峰宽则逐渐增大.Al-Cu-Fe薄膜的生长依次经历了小岛形核阶段、小岛结合阶段、连续薄膜阶段、晶粒长大阶段等4个阶段.另外,随着溅射时间的延长,Al-Cu-Fe薄膜的粗糙度呈现出先增大后减小的趋势.
关键词:
Al-Cu-Fe
,
粗糙度
,
薄膜
,
扩散系数
