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绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响

李欣 , 王若铮 , 吴胜利 , 李尊朝

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173205.0344

基于半导体仿真软件Silvaco TCAD对薄膜晶体管(TFT)进行器件仿真,并结合实验验证,重点分析不同绝缘层材料及结构对TFT器件性能的影响.仿真及实验所用薄膜晶体管为底栅电极结构,沟道层采用非晶IGZO材料,绝缘层采用SiNx和HfO2多种不同组合的叠层结构.仿真及实验结果表明:含有高k材料的栅绝缘层叠层结构较单一SiNx绝缘层结构的TFT性能更优;对SiNx/HfO2/SiNx栅绝缘层叠层结构TFT,HfO2取40 nm较为合适;对含有高k材料的3层和5层绝缘层叠层结构TFT,各叠层厚度相同的对称结构TFT性能最优.本文通过仿真获得了TFT性能较优的器件结构参数,对实际制备TFT器件具有指导作用.

关键词: 半导体器件仿真 , 薄膜晶体管 , 绝缘层 , 氮化硅 , 二氧化铪 , 叠层结构

玻璃光波导研究进展

王德强 , 陈玮 , 程继健

材料导报

介绍了目前国际上主要玻璃光波导的研究热点.简述了制备光波导的晶体材料、玻璃材料和高分聚合物材料的优缺点.着重阐述了玻璃材料的研究进展.并简要介绍了采用硫卤玻璃制备非线性光波导的诱人前景.

关键词: 非线性材料 , 光波导 , 硫卤玻璃 , 离子交换

硅中氮离子注入的研究进展

裴艳丽 , 杨德仁

材料导报

综述了硅中氮离子注入的应用和研究进展.主要讨论了氮离子注入形成SOI层的原理、质量的影响因素和电学性能;介绍了氮离子注入在制备超薄氧化栅极及其抑制掺杂杂质原子特别是硼原扩散等方面的研究和应用.

关键词: 氮离子注入 , , SOI

Fe-Al基金属间化合物粉末的制备

张玉军 , 李爱菊 , 李春胜 , 赵天平 , 尹衍升

复合材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-3851.1999.04.008

介绍了Fe-Al基金属间化合物粉末的制备工艺过程,并讨论分析了工艺过程对金属间化合物形成的影响.经过20小时的高速球磨并在750 ℃下烧可制备Fe-Al金属间化合物为主要成分的粉末材料.

关键词: Fe-Al金属间化合物 , 粉末 , 制备工艺

DD6单晶高温合金的低周疲劳寿命估算

李影 , 苏彬 , 吴学仁

航空材料学报 doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2001.03.010

建立了DD6单晶高温合金杨氏模量、屈服强度和强化指数与取向定量关系.并用这三个力学参数对滞后能△W进行表达.进而用Nf=C(△W)β模型疲劳寿命进行测,对[001]、[011]和[111]取向附近的多个取向进行的恒应力速率的低周疲劳试验表明:实际寿命与该模型的预测寿命吻合得相当好.

关键词: 单晶高温合金 , 低周疲劳 , 寿命预测

连续式逆流漂洗与在线分级废水治理

欧可辉 , 龚友夫 , 唐基禄

电镀与精饰 doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2003.01.013

简述铝件在进行碱洗、抛光、氧化和着色表面处理中,由原来单槽或两槽水清洗改为全线连续式逆流漂洗,用水量减少90%,节约水资源,又保证了产品质量.对含铬、磷及有机废水实施在线处理与废水站同时处理,层层把关,降低了废水处理成本,保证废水外排合格.

关键词: 逆流漂洗 , 废水治理 , 铝氧化

反应离子刻蚀工艺仿真模型的研究

陆建祖 , 魏红振 , 李玉鉴 , 张永刚 , 林世鸣 , 余金中 , 刘忠立

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.031

以SF6/N2混合气体对Si反应离子刻蚀工艺研究为例提出干法刻蚀计算机工艺模拟的方法:在分段拟合优化工艺条件下采用人工神经网络方法建立干法刻蚀仿真模型,可以测给定射频功率、总气流量下刻蚀速率和纵横比,并且以仿真实验数据训练模型学习,模型具有通用性,与设备无关.

关键词: 干法刻蚀 , 工艺仿真 , 人工神经网络

飞艇吊舱的综合优化设计

单杭英 , 杨忠清 , 孙中涛 , 张海黎

玻璃钢/复合材料

通过对飞艇吊舱外挂结构特性的分析,以吊舱重量轻和制造成本低为设计目标,在对材料选取、结构布局和结构细节设计等方面进行综合优化设计.并通过有限元分析和静力试验对优化后的舱体结构进行静强度、刚度验证.计算及试验结果表明飞艇吊舱满足强度、刚度设计要求,结构重量比定重量节省10%,从而可以增加有效任务载荷或减少浮囊体积.

关键词: 飞艇吊舱 , 外挂 , 优化设计 , 强度 , 刚度

磁控溅射制备Al-Cu-Fe薄膜不同溅射时间的生长行为

季鑫 , 周细应 , 宓一鸣

材料导报

采用磁控溅射法在硅基材上制备了Al-Cu-Fe薄膜,采用原力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)研究了不同溅射时间下Al-Cu-Fe薄膜的生长行为.结果表明.随着溅射时间的延长,Al-Cu-Fe薄膜的β晶相的衍射峰半峰宽逐渐减小,而λ晶相的衍射峰半峰宽则逐渐增大.Al-Cu-Fe薄膜的生长依次经历了小岛形核阶段、小岛结合阶段、连续薄膜阶段、晶粒长大阶段等4个阶段.另外,随着溅射时间的延长,Al-Cu-Fe薄膜的粗糙度呈现出先增大后减小的趋势.

关键词: Al-Cu-Fe , 粗糙度 , 薄膜 , 扩散系数

大型风力涡轮转子叶片增强材料应用现状及发展趋势

滕冬华 , 高克强

玻璃钢/复合材料 doi:10.3969/j.issn.1003-0999.2010.06.019

大型风力涡轮转叶片是风电机组系统有效捕获风能的关键部件,基本上由各种复合材料制成,因此结构材料的性能是影响叶片正常稳定运转的决定性因素之一.本文简述了国内外风电产业尤其是叶片技术的变革历程和发展趋势,概括了各种风电叶片用高性能增强材料的性能特点和应用现状,对存在的问题提出了一些建议,并对风电叶片的未来发展进行了展望.

关键词: 风力涡轮转子叶片 , 增强材料 , 复合材料

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