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α-SiOx∶H钝化Cz-Si表面的工艺优化与机制分析

黄海宾 , 张东华 , , 龚洪勇 , 高江 , Wolfgang R.Fahrner , 周浪

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.09.022

氢化非晶氧化硅(α-SiOx∶H)是一种优质的硅片表面钝化材料.采用PECVD法,以 SiH4、CO2和 H 2作为气源制备α-Si O x∶H 薄膜钝化 Cz-Si 表面,研究了沉积气压和CO2∶SiH4流量比对钝化效果的影响规律及作用机制.采用准稳态光电导法测试了硅片的有效少子寿命并依此计算出其表面复合速率以对薄膜的钝化效果进行定量表征,采用光谱型椭偏仪测试了样品的介电常数虚部ε2谱对样品微观结构进行了定性分析.结果表明,(1)在所研究范围内,氧掺入非晶硅薄膜使得薄膜结构趋向非晶化,沉积气压主要对薄膜中的空位浓度造成影响,而 CO2/SiH4流量比的增加可增加薄膜中的 H 含量并改变了硅氢键的结构,从而影响薄膜的钝化效果;(2)在 CO2/SiH4流量比为3.0/3.0 mL/min,沉积气压为22 Pa 条件下获得了最优钝化效果,钝化后硅片有效少子寿命为975μs,表面复合速率为3.9 cm/s.

关键词: 氢化非晶氧化硅 , PECVD , 硅片表面钝化 , 空位浓度 , 氢含量

四苯基卟铟纳米材料的制备及其光学传感性能研究

侯长军 , 刘琛 , 霍丹群 , 法焕宝 , 杨眉 , 向芸颉 , 宋坤 , 陈泳池 , 卢中明

功能材料

在水/二甲基亚砜(DMSO)的混合溶液体系中,利用自组装方法,使5,10,15,20-四苯基卟铟(InTPP)分子聚集成纳米材料,并研究了其最优制备温度为50℃.通过场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)对铟卟啉纳米材料的表面形貌进行了研究,可获得粒径为100~200nm的棒状铟卟啉纳米材料.利用紫外-可见光谱分析了铟卟啉单体与纳米材料光学性质的差别:在紫外-可见光谱中,铟卟啉纳米分散体系的Soret带吸收峰从原来的423nm分别红移到433和453nm,吸光值明显减小,峰形呈劈裂状且明显变宽.利用紫外-可见光谱对铟卟啉的光学检测性能进行了研究,将铟卟啉单体和纳米溶液体系对低浓度甲基膦酸二甲酯(DMMP)的检测效果进行了对比,结果显示铟卟啉纳米溶液体系的检测效果明显优于单体.

关键词: 铟卟啉 , 纳米材料 , 检测 , 甲基膦酸二甲酯 , 光学性能

在会上交流公开发表文章题录

腐蚀学报(英文)

在会上交流公开发表文章题录区域碳钢土壤腐蚀数据模式识别研究李洪锡,张淑泉,银耀德,高英发表于:腐蚀科学与防护技术,1993,5(l):70混凝土土壤腐蚀快速试验研究马孝轩,陈从庆,仇新刚发表于:腐蚀科学与防护jkk,1995,7():84模糊聚类分析在土壤腐蚀性评价中的应用来光铃,曹楚南,林海潮发表于:中国腐蚀与防护学报,1993,13(4):303我国典型地区大气腐蚀性的综合评价轩义,屈祖玉,李长荣发表于:腐蚀科学与防护技术,1995,7(4)钢铁材?...

关键词:

建油库埋地管道阴极保护

胡士信 , 陈向新 , 薛致远等

腐蚀学报(英文)

建油库埋地管道有极保护,解决了埋地30多年的老管道的腐蚀控制问题。

关键词: 建油库管道 , oil store , cathodic protection

二酸十八酯(OAO)晶体结晶习性研究

陈义平 , 关铁堂 , 郭一帆

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2001.04.010

二酸十八酯(OAO)分子间结合力小,结晶性差,所以创造条件改善OAO的结晶性是OAO单晶生长的一项关键工作.本文以恒温蒸发法做了OAO在各种极性不同溶剂中的结晶性实验,结果表明溶剂的极性愈小对OAO的结晶愈有利;本文还做了OAO籽晶在不同的过饱和度和不同的晶体生长温度中的生长实验,结果发现,增大溶液过饱和度和生长温度对OAO结晶生长是有利的,特别使难生长的(001)面容易长厚.

关键词: 二酸十八酯(OAO) , 分光晶体 , 结晶习性

刀具刀尖状态对加工表面质量的影响

熊建武 , 周进

硬质合金 doi:10.3969/j.issn.1003-7292.2005.03.003

为了研究刀具刀尖状态对加工表面质量的影响,采用不同刀尖状态的硬质合金刀具,进行了薄切削铝合金的对比试验.试验表明,刀具各刀面粗糙度对加工表面粗糙度和加工硬化有较大影响,刀具刀尖部分的刀面粗糙度增大,加工表面粗糙度和加工硬化均随之增大;刀具刀尖状态对巳加工表面质量的影响程度,可用锯齿影响系数来表征,随着锯齿影响系数增大,巳加工表面粗糙度和加工硬化程度增大.

关键词: 硬质合金 , 刀尖状态 , 表面质量 , 锯齿影响系数

切削条件对加工表面残留应力的影响

熊建武 , 周进

硬质合金 doi:10.3969/j.issn.1003-7292.2005.02.003

用X射线应力测量仪测量了不同切削条件下铝合金工件表面的残留应力.结果表明,硬质合金刀具薄切削铝合金时,切削速度、进给量、切削深度对加工表面残留应力的影响具有不同的规律.

关键词: 铝合金 , 切削条件 , 残留应力

我国形成自主知识产权系列核电品牌

中国材料进展

20年前,我国大陆首座核电站秦山核电站投入商运,结束了中国大陆无核电的历史。中核集团总经理孙勤近日表示,中核集团始终坚持走自主创新之路,如今形成门类齐全、专业配套的核科技创新体系,打造出具有自主知识产权的系列核电品牌。

关键词: 秦山核电站 , 自主知识产权 , 品牌 , 科技创新体系 , 中国大陆 , 中核集团 , 自主创新 , 总经理

氮离子束轰击对电弧离子镀沉积的TiAlN膜层性能影响的研究

吕树国 , 刘常升 , 张罡 , 毕监智 , 金光 , 李玉海

钢铁研究学报

采用俄罗斯UVN 0.5D2I离子束辅助电弧离子镀沉积设备,利用N离子束轰击高速钢W18Cr4V基材上电弧离子镀沉积完毕的TiAlN膜层.研究了不同能量的N离子束轰击对TiAlN膜层表面形貌、显微硬度和相结构的影响.SEM分析表明:TiAlN膜层表面"大颗粒"消失,凹坑浅而平整,粗糙度降低.X射线衍射分析表明:无N离子轰击时,TiAlN膜层是由TiAlN相和Ti_2 AlN相组成;随着轰击能量的增加,TiAlN膜层的相结构没有发生变化,但TiAlN(111)取向减弱,而(200)和(220)取向均增强;Ti_2AlN(211)取向减弱.力学性能测试表明:N离子束轰击,使膜层的显微硬度由原来的2 100HV0.01提高到2 300HV0.01.

关键词: 离子束 , TiAlN膜层 , 电弧离子镀 , 显微硬度

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