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光刻胶用底部抗反射涂层研究进展

影像科学与光化学 doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.02.123

随着微电子工业的蓬勃发展,光刻技术向着更高分辨率的方向迈进,运用底部抗反射涂层有效消除光刻技术中的驻波效应、凹缺效应,提高关键尺寸均一性和图案分辨率,引起了广大研究者的关注.本文简要介绍了光刻胶和光刻技术,底部抗反射涂层的分类、基本原理、刻蚀工艺以及其发展状况.重点对底部抗反射涂层的最新研究进展进行了总结,尤其是碱溶型底部抗反射涂层在光刻胶中的应用研究,最后对底部抗反射涂层的发展前景和方向进行了展望.

关键词: 光刻胶 , 光刻技术 , 底部抗反射涂层

宝钢益昌冷连轧机组改造新技术

王军生 , 赵启林 , 矫志杰 , 刘相华 , 王国栋 , 鹤田诚 , 北冈贤一

材料与冶金学报 doi:10.3969/j.issn.1671-6620.2002.02.013

介绍了宝钢益昌1220全连续冷连轧机组改造后的工艺、设备及控制系统.着重论述了该机组现代化改造所采用的新技术特点及应用效果.这些新技术的应用提高了产品的产量和质量.它可为国内将要新建或改造的同类型机组提供有益的参考.

关键词: 冷连轧 , 改造 , 新技术 , 宝钢益昌

科技工作者的榜样——贺师昌绪同志七十华诞

材料研究学报

<正> 1990年11月15日是中国科学院学部委员、技术科学部主任、国家自然科学基金委员会副主任、中国科学院金属研究所名誉所长师昌绪同志的七十华诞之日。师昌绪同志以其渊博的学识、严谨的学风、勤奋的工作态度,尤其是对祖国、对人民、对社会主义制度的挚诚的爱心,赢得了广大科技工作者的尊敬,成为我们学习的榜样。

关键词:

黔西南板昌逆冲推覆构造特征及其控矿作用研究

张贞翔 , 程国繁 , 何英 , 唐兴进 , 苏信明

黄金 doi:10.11792/hj20140705

板昌逆冲推覆构造带不仅是对黔西南地区表层地壳变形具有重要影响的构造边界，而且对烂泥沟特大型金矿床、百地金矿床、尾排金矿床、岩架金矿床等卡林型金矿床的形成与分布具有重要控制作用。以区域构造成矿学理论为指导，在板昌逆冲推覆构造带近年探矿新资料及新成果的基础上，系统论述该构造带的物质组成和变形特征，讨论该构造带的形成演化对卡林型金矿成矿的控制作用，目的在于继续深入研究黔西南地区构造特征与金矿成矿规律，为大区域成矿作用和成矿规律研究提供基础资料，实现区域找矿取得突破提供新的思路及科学依据。

关键词: 板昌推覆构造 , 控矿作用 , 卡林型金矿床 , 黔西南 , 贵州

21世纪工业涂装展望

材料保护

涂装的质量提高和生产成本的降低,可为机电产品制造领域创造附加值,还可以增加市场竞争力,所以人们对21世纪新型涂料开发、涂装作业方式改变、劳动条件改善、涂装工艺技术装备改进、开发等等都抱有很大的期望.全世界对公害和地球暖化等问题更加关心,环保问题是涂装行业最大的问题.涂料、涂装设备、涂装应用三位一体共同合作,是21世纪达到无公害涂装要取得成效的重要一步.我国机械制造大型企业在加强科研开发力量的同时不要忽视涂装技术这一重要领域.

关键词: 涂料 , 涂装 , 装备 , 开发 , 展望

迷你冷轧--21世纪冷轧技术

钢铁

21世纪迷你冷轧(Minicold 21TM)型冷轧厂--体现冷轧高附加值扁平产品的柔性生产概念.为了高效生产冷轧、镀锌以及彩涂扁平产品,达涅利威恩联合公司开发了称为"21世纪迷你冷轧(Minicold 21TM)"冷轧工艺.其最简单的形式包括1条推拉式酸洗线、1台单机架或双机架可逆冷轧机、批示退火、1台平整机和1台可配置在线彩涂的热浸镀锌.讨论了21世纪迷你冷轧(Minicold 21TM)型冷轧厂的技术特点并根据预计资本投资和转换成本以及产出产品市场价格进行了经济效益分析.分析说明在大多数情况下大约年产量50万t的冷轧厂能够产生经济效益.

关键词: 21世纪 , 迷你冷轧