朱建强
,
刘涌
,
王靖
,
詹宝华
,
宋晨路
,
韩高荣
硅酸盐通报
doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2005.06.018
采用APCVD工艺用硅烷和乙烯为原料在620℃沉积硅薄膜.用AFM观察薄膜表面形貌,用SEM扫描截面测量薄膜厚度.FTIR光谱表明薄膜中存在Si-C.研究了C2H4/SiH4摩尔比对膜厚的影响,随着C2H4/SiH4的增大,薄膜的沉积速率降低,表明乙烯掺杂会抑制薄膜生长,同时乙烯的加入减弱了颗粒的异常长大.
关键词:
APCVD
,
硅薄膜
,
乙烯掺杂
,
AFM
,
FTIR
詹宝华
,
宋晨路
,
刘涌
,
朱建强
,
韩高荣
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2005.06.016
通过硅烷、乙烯和氮气的混合气体在620下采用常压化学气相沉积(APCVD)法沉积了非晶硅薄膜,讨论了乙烯/硅烷的体积比(R=VC2H4/VsiH4)对薄膜的光学性质的影响.用Raman光谱、红外光谱和紫外-可见光光谱仪对薄膜进行表征.结果表明通过乙烯掺杂制备的薄膜样品中存在着Si-C键,在R值变化的开始阶段薄膜的光学带隙随着R值增大而增大,在R=0.1时达到最大值,然后随着R值的增大而减小.
关键词:
APCVD
,
非晶硅薄膜
,
红外光谱
,
紫外-可见光光谱
,
光学带隙
刘丽玲
,
袁国翠
,
牛耀玉
,
田超
腐蚀与防护
对宝浪油田污水处理系统污水水质、腐蚀挂片等数据分析,结果表明,该污水处理系统腐蚀严重.为了确定腐蚀影响因素,进行了污水流速、温度、pH等因素对腐蚀速率影响的试验研究.初步确定了这些因素对宝浪油田污水腐蚀影响规律,为日后制定防腐蚀措施可以提供参考.
关键词:
污水
,
腐蚀
,
影响因素
钛工业进展
回顾了2004年宝钛股份的生产经营情况,并介绍了近期中国钛行业所面临的问题,简述了宝钛股份的"十一五"发展战略及相应的策略.
关键词:
宝钛股份
,
2004年
,
经营
,
展望
张亚刚
,
文颖
,
毛梅梅
电镀与涂饰
根据陕汽宝鸡华山工程车辆有限公司的新涂装生产线运行两年多(2013-2015)来水、天然气和电能的消耗情况,从生产安排、工序衔接、工艺调整、设备运行等方面介绍了节能降耗的措施,可切实有效地控制生产成本.
关键词:
车身
,
涂装车间
,
节能
,
生产成本
工程热物理学报
根据《吴仲华奖励基金章程》(吴奖[2008]01号),经各高等院校、中国工程热物理学会和中国科学院工程热物理研究所认真评选和推荐,吴仲华奖励基金理事会评审并确定授予青年学者戴巍、罗坤、唐桂华“吴仲华优秀青年学者奖”,授予程雪涛等10位同学“吴仲华优秀学生奖”。
关键词:
基金
,
奖励
,
评选
,
获奖者
,
中国科学院
,
青年学者
,
物理研究所
,
高等院校
工程热物理学报
根据《吴仲华奖励基金章程》(吴奖[2010]01号),经各高校、中国工程热物理学会和中国科学院工程热物理研究所遴选和推荐,以及吴仲华奖励基金理事会评审,决定授子钟文琪、张鹏、张明明、徐纲4位青年学者“吴仲华优秀青年学者奖”,授予顾超等13位同学“吴仲华优秀学生奖”。
关键词:
基金
,
奖励
,
获奖者
,
中国科学院
,
评选
,
青年学者
,
物理研究所
,
物理学会