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0.1-0.3μmX射线光刻技术在GaAs器件制作中的应用

叶甜春 , 常青 , 李兵 , 陈大鹏 , 陈朝晖 , 赵玲莉 , 胥兴才 , 刘训春 , 张绵 , 赵静

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.03.013

对同步辐射X射线光刻及在GaAsPHEMT器件制作中的应用进行了研究,并制作出栅长0.15μm的AlGaAs/InGaAs/GaAsPHEMT晶体管.研究结果表明,X射线光刻在剥离图形及T型栅结构制作工艺中具有极好的光刻图形质量,在混合光刻工艺中,抑止GaAs合金点的形成是取得良好对准标记的关键.

关键词: X射线光刻 , PHEMT , T型栅

植物对甲苯的降解

周亶 , 蒋永荣 , 蒋东云 , 王娟

绝缘材料 doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2010.03.017

针对绝缘行业工作环境中甲苯等溶剂污染现象,选取金边吊兰和常青藤两种植物对4种浓度的甲苯进行降解,并采用气相色谱法检测甲苯的含量.结果表明:两种植物对4种浓度的甲苯都具有一定的降解能力,降解能力随甲苯浓度增加而降低;在降解时间相同的条件下,两种植物对低浓度(20 mg/m3)甲苯的降解率比高浓度(160mg/m3)甲苯的降解率大,16 h后金边吊兰和常青藤对20 mg/m3甲苯的降解率分别达到45.6%和49.3%,对160mg/m3甲苯的降解率只有28.4%和21.6%.

关键词: 甲苯 , 金边吊兰 , 常青 , 降解率 , 气相色谱

炭纳米纤维-天然石墨复合材料的制备及其作为锂离子电池阳极材料的电化学性能

Sang-Min Jang , Jin Miyawaki , Masaharu Tsuji , Isao Mochida , Seong-Ho Yoon , 康飞宇

新型炭材料 doi:10.1016/S1872-5805(09)60018-4

制备一种炭纳米纤维-天然石墨复合材料,以改善作为锂离子电池阳极材料的天然石墨的倍率性能.通过优化控制天然石墨上炭纳米纤维的生长量及其形状提高了天然石墨的循环性能和倍率性能.与天然石墨原料相比,炭纳米纤维-天然石墨复合材料第一次放电容量达到了95%.炭纳米纤维的生长量被严格地控制在天然石墨质量的15%以下.研究发现:由于炭纳米纤维对充放电过程中阳极的体积膨胀和收缩程度的控制作用,天然石墨表面边位上生长的类似常青藤形的炭纳米纤维对倍率性能的提高最为有效.提出采用炭纳米纤维-天然石墨复合材料的原理结构模型解释重复充放电过程中电极的体积稳定性.通过在石墨表面上生长类常青藤形炭纳米纤维而使得SEI(固体电解质界面)变薄并减少了充放电过程中阳极的体积变化,因而提高了倍率性能.

关键词: 天然石墨 , 锂离子电池 , 炭纳米纤维 , 倍率性能 , 体积稳定性

二极管激光器阵列微通道冷却实验研究

李志刚 , 淮秀兰 , 陶毓伽 , 王立

工程热物理学报

5 W/cm2的界面热流密度.实验结果还验证了Shah和London提出的表观阻力系数关联式、用于预测平均努尔数的Sieder-Tate关联式以及Shah&London关联式.

关键词: 微通道 , 流动阻力 , 传热特性 , 激光器热管理

流体在微多孔介质内对流换热实验研究

胥蕊娜 , 姜培学

工程热物理学报

本文对空气流过烧结微多孔介质内部对流换热进行了实验研究,分析了不同颗粒直径下对流换热努尔特数随流量的变化.结果表明:当颗粒直径为200~40μm时,实验得到的对流换热努尔特数与已有研究结果符合很好;当颗粒直径为20μm和10 μm时,实验结果略小于已有研究结果,说明空气在微多孔介质中的对流换热需要考虑微尺度效应的影响.同时,根据实验结果给出了微多孔介质内对流换热努尔特数与雷诺数的经验关联式,并提出了考虑努森数的修正关联式.

关键词: 微多孔介质 , 实验研究 , 对流换热 , 微尺度效应

微小尺度下自然对流换热特性实验研究

杨德伟 , 黄善波 , 林日亿

工程热物理学报

采用直接电加热法对平均为101 μm、403 μm及801 μm的铜丝进行加热,使用高精度电阻仪测量电加热前及电加热后的铜丝的电阻值,根据温度与金属电阻之间的关系能够相当精确的测量整个铜丝电加热后的平均温度值.电加热时的电压及电流也同时被测量.实验结果表明,在自然对流条件下,实验得到的努尔特数与经典的准则关联式得到的努尔特数随着外径的减小,其偏差越来越大,最大偏差超过50%.

关键词: 微尺度换热 , 细铜丝 , 电阻 , 尔特数

路用木质纤维性能研究

徐静 , 赵永利 , 刘加平

材料导报

采用了德国JRS、国产某BH及新型絮状木质纤维,通过伦堡沥青析漏、马歇尔稳定度、动稳定度、水稳定性、渗水系数及构造深度等试验,研究木质纤维性能对提高沥青混凝土的路用性能的影响.结果表明,易于分散、低含水率、高吸油率、惰性大、动弹模高的木质纤维有利于增强SMA的路用性能.

关键词: 木质纤维 , 沥青混凝土 , 沥青玛蹄脂碎石(SMA)

聚酯纤维对排水性沥青混合料最佳沥青用量的影响

张岭岭 , 吴金荣

硅酸盐通报

伦堡析漏试验的基础上研究了聚酯纤维掺量对排水性沥青混合料最佳沥青用量的影响.试验结果表明,排水性沥青混合料的最佳沥青用量随纤维掺量的增大而增大,纤维掺量为0.4%时,其对排水性沥青混合料析漏损失的减少效果最明显,为最佳纤维掺量.

关键词: 排水性沥青混合料 , 聚酯纤维 , 伦堡析漏试验 , 最佳沥青用量

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