王静
,
杨志刚
,
谢鹤
,
金哲晖
,
胡楠
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.03.007
采用乙醛酸代替有害的化学药品甲醛作为还原剂的化学镀技术, 在TiN 阻挡层实现了化学镀铜.研究了不用贵重金属钯催化,而是采用NH4F酸性化学镀方法在TiN/Ti/SiO2/Si基板上沉积一层铜种子层,然后在此铜种子层上采用乙醛酸化学镀方法沉积铜膜的方法.用SEM观察镀层形貌,XRD表征镀层结晶状态,证实此方法能够制备出超大规模集成电路铜互连线.试验分析并探讨了pH值、铜离子浓度、乙醛酸浓度、EDTA浓度、联吡啶浓度、镀液温度对化学镀速度和镀铜层效果的影响,得到了制备超大规模集成电路铜互连线的最优化学镀溶液成分.
关键词:
乙醛酸
,
化学镀铜
,
种子层
,
铜互连线
,
化学镀镀液
汪龙
,
刘春明
,
胡召齐
,
江来利
,
黄德志
中国有色金属学报
江南造山带新元古变基性岩为区域构造事件和演化模型的建立提供地质依据.对江南造山带东段皖南鹤城地区变玄武质岩的地球化学及岩石成因进行研究.鹤城变玄武岩呈北东—南西向沿瑶里—鹤城—江潭—带分布.元素地球化学的研究表明:休宁鹤城变玄武岩同科马提质玄武岩及岛弧玄武岩相类似;富集Rb、Ba、Th、U等强不相容元素,亏损高场强元素Nb和Ta,指示其成因可能与富集地幔的部分熔融有关,同时有地壳物质的混染,其可能属于皖南伏川蛇绿岩西延组成部分,与伏川蛇绿岩组成一个弧后杂岩带,形成于与俯冲有关的弧后小洋盆环境.结合区域资料,表明新元古代板块俯冲、岛弧岩浆活动以及拼合是江南造山带形成的比较合理的构造演化过程.
关键词:
江南造山带东段
,
鹤城
,
变玄武岩
,
科马提质玄武岩
,
岛弧玄武岩
胥蕊娜
,
姜培学
工程热物理学报
本文对空气流过烧结微多孔介质内部对流换热进行了实验研究,分析了不同颗粒直径下对流换热努谢尔特数随流量的变化.结果表明:当颗粒直径为200～40μm时,实验得到的对流换热努谢尔特数与已有研究结果符合很好;当颗粒直径为20μm和10 μm时,实验结果略小于已有研究结果,说明空气在微多孔介质中的对流换热需要考虑微尺度效应的影响.同时,根据实验结果给出了微多孔介质内对流换热努谢尔特数与雷诺数的经验关联式,并提出了考虑努森数的修正关联式.
关键词:
微多孔介质
,
实验研究
,
对流换热
,
微尺度效应
杨德伟
,
黄善波
,
林日亿
工程热物理学报
采用直接电加热法对平均为101 μm、403 μm及801 μm的铜丝进行加热,使用高精度电阻仪测量电加热前及电加热后的铜丝的电阻值,根据温度与金属电阻之间的关系能够相当精确的测量整个铜丝电加热后的平均温度值.电加热时的电压及电流也同时被测量.实验结果表明,在自然对流条件下,实验得到的努谢尔特数与经典的准则关联式得到的努谢尔特数随着外径的减小,其偏差越来越大,最大偏差超过50%.
关键词:
微尺度换热
,
细铜丝
,
电阻
,
努谢尔特数
徐静
,
赵永利
,
刘加平
材料导报
采用了德国JRS、国产某BH及新型絮状木质纤维,通过谢伦堡沥青析漏、马歇尔稳定度、动稳定度、水稳定性、渗水系数及构造深度等试验,研究木质纤维性能对提高沥青混凝土的路用性能的影响.结果表明,易于分散、低含水率、高吸油率、惰性大、动弹模高的木质纤维有利于增强SMA的路用性能.
关键词:
木质纤维
,
沥青混凝土
,
沥青玛蹄脂碎石(SMA)
