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对柱状多晶硅薄膜的制备研究

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.052

在多晶硅薄膜(Poly-Si)生长理论的基础上,用等离子体化学气相沉积(RF-PECVD)系统,配合快速光热退火装置(RTP),在玻璃衬底和石英衬底上制备了柱状结构的多晶硅薄膜.借助于扫描电子显微镜(SEM)等测试手段,对薄膜的表面形貌和断面形貌进行了分析.结果发现:(1)柱晶的形成对薄膜的厚度有一定要求,而且薄膜越厚,柱晶直径越容易长得更大.本实验中,薄膜厚度达到2.5μm左右时,柱晶直径达到了1.5μm以上;(2)再结晶过程是从靠近光源的薄膜表面开始进而到薄膜内部的.再次说明RTP中再结晶的发生,与光和物质的相互作用密切相关.

关键词: SEM , RTP , 柱晶 , 多晶硅薄膜

赵连城院士简介

功能材料

关键词:

专栏特约编辑赵永庆

中国材料进展

关键词:

磁性材料的新应用

薛福连

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2001.01.011

介绍了磁性材料的性能、新效应和新应用，并指出了今后研究和开发的重点。

关键词: 磁性材料应用性能

新金刚石的研究现状

温斌 , 李廷举 , 董闯 , 金俊泽

材料导报

新金刚石是具有面心立方(fcc)结构的金属性碳,是一种新的碳同素异形体.为了更好地研究新金刚石的性能和应用,介绍了新金刚石的结构特征、制备工艺及新金刚石性能研究的进展.

关键词: 新金刚石 , 碳素材料 , 金刚石 , 同素异形体

新大线同沟敷设热力分析

凌霄 , 王艺 , 宇波 , 张劲军 , 王凯 , 达鑫

工程热物理学报

针对新大线同沟敷设管道,采用非结构化有限容积法,分析了不同的物性条件下,常温输送原油对加热输送原油的热力影响.

关键词: 同沟敷设 , 新大线 , 热力分析 , 数值模拟 , 有限容积法

新气相法制白炭黑

王钧 , 施善友

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2002.03.015

打破了传统气相法制白炭黑的工艺原理,创造性地提出一种新的原理和制备方法,并在实验室初试阶段取得成功.

关键词: 气相法白炭黑 , 粉煤灰 , 浓硫酸 , 氟化钙

纳米 MOSFET/SOI器件新结构

张正选 , 林成鲁

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.024

重点介绍器件进入纳米尺度后出现的 MOSFET/SOI器件的新结构,如超薄 SOI器件、双栅 MOSFET、 FinFET和应变沟道等 SOI器件,并对它们的性能进行了分析.

关键词: 纳米 MOSFET , SOI , 双栅 MOSFET , FinFET , SiGe/Si

环境材料--钛的新应用

冯颖芳 , 康浩方

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2002.z1.170

依据钛的环境负荷及钛的循环利用的现状,讨论了钛作为环境材料的适用性,重点论述了钛作为环境材料的新应用领域-钛建材、海洋构造物、小型船舶等.

关键词: 环境材料 , 钛 , 应用

新常态下的涂料行业

杨静

涂料工业

我国宏观经济进入新常态,中国涂料行业也呈现出新常态的多种特征,表现出产能过剩、增长放缓、竞争激烈、政策严管等形态.文中从涂料行业的经营状况、涂料企业的区域分布概括了目前涂料行业经济运行情况;指出在新常态下,涂料行业产业结构进入调整期,并购不断涌现,产业集中度进一步提高,资本浪潮推动着涂料企业与资本市场的融合.分析认为我国涂料行业要认识和主动适应新常态提出的新要求,抓住机遇、迎难而上、主动作为,才能开创新常态涂料行业发展的新局面.

关键词: 新常态 , 涂料行业 , 产业结构调整 , 资本浪潮

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