陈曦
,
丁建宁
,
李长生
,
刘东平
,
范真
,
朱守星
,
邓新绿
,
杨继昌
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2004.02.015
使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究.结果表明:氢化非晶碳膜(a-C∶H)的摩擦力和外加载荷基本成线性关系,可以使用修正的Amonton公式进行表征;厚度在64.9nm以下薄膜的微观承载性能和膜厚存在明显的正比例关系.通过分析磨损深度和循环次数之间的关系以及对磨损区域的导电性研究,表明a-C∶H膜表层的微观承载性能较其内层相差很大,表面存在着一层软膜.
关键词:
类金刚石膜
,
原子力显微镜
,
摩擦性能
刘贵昌
,
黄宗响
,
王立达
,
鲁强
,
刘洋
,
李雨
,
邓新绿
材料保护
稀土可有效改善化学镀Ni-Cu-P层的硬度、耐蚀性能，目前，对此研究还不够深入。在Ni—Cu-P化学镀液中引入不同含量的Ce4＋，采用金相显微镜和电子能谱分析了所得Ni—Cu-P镀层的表面形貌和成分，利用极化曲线和交流阻抗谱考察了Ce4＋对Ni-Cu-P镀层在室温海水中的耐蚀性能的影响。结果表明，加入Ce4＋能减少Ni—Cu-P镀层的缺陷，使晶粒细化，镀层表面平整；镀层中不合Ce，Ce4＋促进了镀层的非晶态化程度，从而提高了其耐蚀性；镀层的自腐蚀电位比紫铜基材的低，自腐蚀电流密度远小于紫铜基材，添加Ce4＋能提高Ni-Cu-P镀层的耐蚀性，其自腐蚀电流密度低于未加稀土所得的镀层。
关键词:
化学镀Ni—Cu-P
,
稀土Ce4+
,
镀层
,
耐蚀性
,
形貌
,
成分
李新
,
唐祯安
,
邓新绿
,
徐军
,
张虹霞
,
杨梅
功能材料
介绍了微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射设备的结构和工作原理,详细叙述了利用该设备制备类金刚石膜的过程.Raman光谱证实了薄膜的类金刚石特性;采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的微观表面形貌,均方根粗糙度大约为1.9nm,结果表明薄膜表面非常光滑;利用CERT微摩擦计进行摩擦、磨损和划痕实验,薄膜的平均摩擦系数较小,大约为0.175;DL(膜和Si衬底磨损情况的扫描电镜图片相对比,可以看到DLC膜的磨痕小的多,说明薄膜有较好的耐磨性能;划痕测试结果表明制备薄膜临界载荷大约为40mN.
关键词:
非平衡磁控溅射
,
电子回旋共振
,
等离子体源
,
类金刚石膜
马国佳
,
吴志猛
,
李新
,
邓新绿
,
徐军
,
唐祯安
材料保护
doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2003.05.017
用等离子体源注入(PSII)在Si(100)上制备类金刚石膜,放电气体采用CH4, 用微波电子回旋共振(ECR)产生等离子体.将-20～-30 kV的高压加在衬底上,来提高离子的能量.通过Raman光谱和FT-IR光谱检测了类金刚石膜的化学组成及状态,并对其机械性能和表面形貌进行了检测.结果显示,硅片硬度和摩擦因数得到了改善,用PSII能够制备出性能优良的膜,可以将其应用到微电子器件(MEMS)上去.
关键词:
类金刚石
,
等离子源注入
,
化学键
刘成龙
,
杨大智
,
邓新绿
,
齐民
无机材料学报
利用微波-ECR等离子体源全方位离子注入设备,采用PSII与PSII+PECVD工艺在医用316L不锈钢上制备碳改性薄膜.Raman光谱分析表明,薄膜为典型的类金刚石(DLC) 薄膜.静态接触角测量技术研究表明:在酸碱溶液中,DLC薄膜表面价键遭到破坏,稳定性降低.不同工艺制备的DLC薄膜表面能在40mN/m左右,极性分量大于色散分量,呈现出疏水性质.DLC薄膜表面能高低取决于表面碳碳键与粗糙度的变化.
关键词:
DLC薄膜
,
surface energy
,
316L stainless steel
,
contact angle
刘成龙
,
杨大智
,
邓新绿
,
齐民
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.03.033
利用微波-ECR等离子体源全方位离子注入设备,采用PSII与PSII+PECVD工艺在医用316L不锈钢上制备碳改性薄膜.Raman光谱分析表明,薄膜为典型的类金刚石(DLC)薄膜.静态接触角测量技术研究表明:在酸碱溶液中,DLC薄膜表面价键遭到破坏,稳定性降低.不同工艺制备的DLC薄膜表面能在40mN/m左右,极性分量大于色散分量,呈现出疏水性质.DLC薄膜表面能高低取决于表面碳碳键与粗糙度的变化.
关键词:
DLC薄膜
,
表面能
,
316L不锈钢
,
接触角
刘成龙
,
林国强
,
杨大智
,
赵彦辉
,
邓新绿
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.04.028
用电弧离子镀设备,在医用不锈钢基体上沉积Ti/TiN纳米多层薄膜,考察薄膜在Troyde′s模拟体液中的抗腐蚀性能.结果表明,在中性与酸性模拟体液中316L+Ti/TiN(45/45s)体系的击穿电位分别提高5倍和2倍,腐蚀电流密度为基体的1/8与1/3,明显降低发生局部腐蚀的敏感性,但滞后环的出现说明薄膜被击穿后自修复能力较差.分析说明薄膜的纳米多层结构与纯Ti层的存在可有效提高医用不锈钢在Troyde′s模拟体液中的抗点蚀能力.
关键词:
Ti/TiN纳米多层薄膜
,
抗腐蚀性能
,
医用不锈钢
,
模拟体液
