万青
,
王连卫
,
邢朔
,
章宁琳
,
沈勤我
,
林成鲁
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.02.008
为实现PZT铁电薄膜与半导体衬底的直接集成引入Al2O3为过渡层,首先用真空电子束蒸发法在Si(100)、多晶金刚石(111)衬底上生长约20nm厚的Al2O3过渡层,接着在上述衬底上采用脉冲激光淀积(PLD)法淀积PZT薄膜,衬底温度为350-550oC.X光电子能谱(XPS)测试表明,在高真空下,电子束蒸发Al2O3固态源能获得化学配比接近蒸发源的Al2O3薄膜.X射线衍射(XRD)测试说明,不论衬底是硅还是多晶金刚石,当衬底温度为550oC时,PZT在Al2O3过渡层上呈现(222)取向的焦绿石相结构.当衬底是金刚石时,通过如下工艺:(1)较低温度(350oC)淀积;(2)空气氛围650oC快速退火5min,可以在Al2O3过渡层上获得高度(101)取向的钙钛矿结构的铁电相PZT薄膜.最后AFM测试显示,在硅衬底上,PZT薄膜的表面均方根粗糙度为9.78nm;而在多晶金刚石衬底上,PZT薄膜的表面均方根粗糙度为17.2nm.
关键词:
Al2O3
,
过渡层
,
PZT
,
PLD
甄云璞
,
孔俊其
,
苍大强
,
宋海生
,
孙家舵
,
张志辉
钢铁
为深入挖掘邢钢节能潜力,以e-p分析法为理论基础,建立了适合邢钢的能耗瓶颈诊断模型.应用能耗瓶颈诊断模型,通过分解吨钢综合能耗为能耗强度与产品结构系数,分析了总生产流程、各生产区域和各工序的能耗瓶颈,确定了影响吨钢综合能耗的因素,指出了下一步邢钢的节能工作方向.
关键词:
节能
,
吨钢能耗
,
能耗瓶颈
,
能量分解模型
,
能量密度
邸永田
,
赵定国
,
许士芳
,
董志强
,
赵冬芹
连铸
在邢钢小方坯连铸机上进行试验,系统地研究了国产化结晶器电磁搅拌装置的最佳参数,分析了不同参数对连铸坯碳偏析的影响。试验结果表明,结晶器电磁搅拌改善了铸坯碳偏析现象,有效改善的最小电流为350A,电流强度达到一定值后,继续增加电流强度对铸坯中心偏析的改善效果不明显。
关键词:
结晶器
,
电磁搅拌
,
电流
,
碳偏析
苑希现
,
蒋毅
,
都玉林
,
张永藏
,
刘玉旗
钢铁
介绍了邢钢连铸小方坯热送热装的工艺实践,建立了一系列有效的措施.经过三个月的实践证明,该方案工艺合理,投资少.热送热装率为60 %,热装温度达到600 ℃.
关键词:
小方坯
,
热送热装
,
工艺实践