王守坤
,
孙亮
,
郝昭慧
,
朱夏明
,
袁剑峰
,
林承武
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20122705.0613
采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制得氮化硅和氢化非晶硅薄膜,对PECVD设备中基板支撑梢区域的膜质进行了研究.结果显示基板支撑梢对氮化硅薄膜的影响是:基板支撑梢区域的膜厚(沉积速率)高于非基板支撑梢区域,氢含量及[SiH/NH]值高于非基板支撑梢；对氢化非晶硅薄膜的影响是:基板支撑梢区域的膜厚(沉积速率)小于非基板支撑梢区域,氢含量高于非基板支撑梢.并对成膜影响的机理进行了分析讨论.
关键词:
等离子体增强化学气相沉积法
,
基撑梢
,
氮化硅膜
,
氢化非晶硅膜
,
傅里叶红外分析
刘晓伟
,
郭会斌
,
李梁梁
,
郭总杰
,
郝昭慧
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20142904.0548
纯铝薄膜被广泛用作TFT LCD的金属电极,但纯铝薄膜在热工艺中容易产生小丘,对TFT的阵列工艺的良率有较大影响.本文用磁控溅射的方法在不同温度下沉积纯铝薄膜作为薄膜晶体管的栅极,并通过电学检测、扫描电子显微镜和应力测试等方法对不同温度下沉积的纯铝薄膜的小丘生长情况进行了研究.实验结果表明:纯铝成膜温度提高,薄膜的晶粒尺寸增大,退火后产生小丘的密度和尺寸明显降低,温度应力曲线中屈服点温度也相应提高.量产中适当提高成膜温度,可以有效抑制小丘的发生,提高TFT阵列工艺的量产良率.
关键词:
薄膜晶体管阵列工艺
,
磁控溅射
,
纯铝薄膜
,
小丘
,
量产良率
赵肇雄
,
刘勇
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2009.06.001
利用Richarda-Wolf矢量衍射积分公式,获得矢量偏振贝塞耳-高斯光束经具有初级慧差的高数值孔径系统聚焦后的三维光场复振幅函数,模拟了不同慧差系数下聚焦光场的纵向分布,以及焦平面和光轴上的光强.研究表明,初级慧差的存在导致矢量偏振贝塞耳-高斯光束的会聚光场发生偏移和变形,焦平面光强的分布和光轴上的光强峰值都受初级慧差和入射光偏振态的共同影响,偏振态和初级慧差不影响聚焦光场在光轴上的对称分布.
关键词:
物理光学
,
贝塞耳-高斯光束
,
Richards-Wolf矢量衍射积分
,
径向偏振
,
方位角偏振
,
慧差
吴均
,
张道明
,
孙慧珍
,
王开军
腐蚀学报（英文）
土壤腐蚀环境因素的原位连续动态检测(摘要)吴均,张道明,孙慧珍,王开军(中国科学院南京土壤研究所,南京210008)本文简要介绍了土壤电阻率、土壤氧化还原电位、土壤电位梯度、土壤盐分浓度、土壤氯离子浓度、土壤温度和土壤水分七项土壤腐蚀环境因素的原位连续动态检测回土壤温度的原位连续测试对一定深度、尤其是地厂构件埋设深度的土壤温度进行定点连续测试,以积累该深度土壤温度的季节性变化数据采用我所研制的多通道数字式温....
关键词:
谭维翰
,
赵超樱
,
郭奇志
,
刘仁红
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.02.004
本文推广了几何光学近轴光线传输的ABCD定理,使之适用于远离光轴的空间光线的传输,无论光学系统是旋转对称的还是非旋转对称的.又注意到经典力学中的粒子运动也存在类似的ABCD定理.进一步研究发现在这宏观的定理背后的物理含义,即允许存在另一个更为普遍的规律"测不准关系"的可能性.此外应用推广的ABCD定理,可导出推广的含ABCD的衍射积分定理,用角程函的导数来表示.以此进行含初级(赛德耳)象差的衍射积分计算是方便的.文中给出含球差与含慧差的解析结果,及仅含球差时的数值计算.
关键词:
光学ABCD定理的普适性
,
ABCD定理与"测不准关系"
,
衍射积分运算
