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电感耦合等离子体刻蚀InP端面的掩膜特性研究

王健 , 熊兵 , 孙长征 , 郝智彪 , 罗毅

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.04.014

深入研究了掩膜制作工艺对电感耦合等离子体刻蚀的InP端面的影响.首先比较了光刻胶、SiO2和Si3N4三种材料的掩膜特性,发现掩膜图形的致密性、侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响.然后通过优化SF6等离子体刻蚀Si3N4的条件,得到了边缘平整且侧壁垂直的掩膜图形.利用这一掩膜制作技术,获得了深度达7μm的光滑垂直的InP刻蚀端面,选择比达15:1.

关键词: 干法刻蚀 , 掩膜 , ICP , InP , 刻蚀端面

氧气等离子体处理对AlGaN肖特基接触的影响

唐广 , 郝智彪 , 钱可元 , 罗毅

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.04.011

研究了不同的干法刻蚀以及氧气等离子体处理条件对 AlGaN表面特性的影响.在合适的条 件下,氧气等离子体处理可以使 AlGaN表面发生氧化, 并使肖特基接触的反向漏电流降低两个数 量级,反向击穿电压也有显著提高.该方法简单易行,可应用于制备高性能的 AlGaN/GaN HEMT 器件.

关键词: AlGaN , 肖特基接触 , 等离子体

全固源分子束外延1.55 μm波段应变补偿InAsP/InGaP多量子阱材料

何为 , 郝智彪 , 任在元 , 罗毅

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2004.03.036

利用新型全固源分子束外延技术,对1.55 μm波段应变补偿InAsP/InGaP多量子阱材料的生长进行了研究.在InAsP阱和InGaP垒之间插入InP中间层以减小阱和垒之间较大的剪切力.通过对生长材料的X射线衍射摇摆曲线和室温光致荧光光谱的比较,优化生长参数,获得了高质量的InAsP/InP/InGaP/InP应变补偿多量子阱结构,阱、垒、中间层的厚度分别为7.1,6.0,1.9 nm的7个周期的应变补偿多量子阱材料室温光荧光谱半高全宽为18.2 meV,是当前文献报道的1.55 μm 波段的InAsP多量子阱材料的最好结果之一.

关键词: 固源分子束外延 , 应变补偿多量子阱 , X射线衍射 , 光致荧光

GPS 监测系统在西郝庄矿采空区治理中的应用

董华兴 , 李淑霞 , 孙帅

黄金 doi:10.11792/hj20130711

采空区是引起地表塌陷、恶化矿山开采条件的严重安全隐患，对不明采空区的精细探测技术、治理技术及安全监测装备与预警技术的开发研究，是复杂条件下矿山安全高效开采迫切需要解决的重大课题。以西郝庄矿为工程背景，介绍了采空区地表GPS监测系统及沉降监测方案；通过在地表合理设置若干个监测点，利用所安装的监测系统来监视裂缝区域和地表沉降区域的动态演变过程，并将监测信息发送到监控室；通过布点监测，及时预测地压来临时间，为预警决策和矿山及时撤出处于危险区人员提供依据，实现矿山安全生产，具有一定的推广意义。

关键词: 采空区 , 地表塌陷 , GPS监测 , 观测点 , 基准点 , 预警

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金属世界

关键词:

中国制造2025:推进钢铁企业智慧化

张建良 , 周芸 , 徐润生 , 王广伟 , 焦克新

中国冶金 doi:10.13228/j.boyuan.issn1006-9356.20150051

介绍了“中国制造2025”的概念,结合中国钢铁企业信息化的发展过程与现状,论述了中国钢铁企业实施“中国制造2025”、逐步实现两化融合是发展的必然选择.“中国制造2025”将为钢铁行业带来新一轮的变革和创新驱动.钢铁企业智能制造的构建需要从推进工厂智建设、产品智生产、流程智引导、能源网络智设计、员工智专业和市场智营销6个方面来实现.

关键词: 中国制造2025 , 钢铁企业 , 信息化 , 智慧化

大断面黄土斜井塌方处理工程实践

黄宝龙

黄金 doi:10.11792/hj20151109

为安全通过郝家梁矿副斜井塌方段,制定切实可行的塌方处理方案显得尤其关键. 根据该井筒的工程地质条件与水文地质条件,分析了塌方原因,制定了通过塌方段的注浆处理方案,确定了迎头工作面管棚超前支护方案与壁后注浆充填方案的详细参数,按此方案实施后,顺利通过塌方段,保证了矿井的正常施工.

关键词: 黄土 , 斜井 , 塌方 , 管棚注浆超前支护 , 壁后注浆

水泥熟料中硫和磷元素来源及分布特征分析

任志强 , 曹红红 , 王晓艳

硅酸盐通报

用X射线荧光仪检测了三个水泥企业的原料和熟料中硫磷的含量,通过对生料粉磨和熟料煅烧系统的物料平衡计算分析了熟料中硫和磷的来源,并用SEM与WDS分析了熟料中硫磷的分布特征.结果表明:智海、冀东水泥熟料中的硫主要来源于煤灰,分别为72.72％、72.93％,双良的主要来源于石灰石和煤灰,分别为44.62％、34.24％;水泥熟料中磷主要来源于原料石灰石,智海、冀东、双良分别为82.86％、82.92％、85.85％;硫磷元素主要集中在熟料的A矿和B矿中,中间相较少.

关键词: 熟料 , 硫磷 , 来源 , 分布

博弈论视角下商业性矿产勘查市场规范策略研究

赵士影 , 赵连荣 , 叶锦华

黄金 doi:10.11792/hj20160702

基于近年来商业性矿产勘查快速发展的现状，结合博弈论中的合作博弈、不完全信息博弈、智猪博弈和博弈树4个理论模型，从政府、公益性矿产勘查主体、民间资本等主要利益相关者出发，对商业性矿产勘查主体的市场行为进行分析，探讨商业性矿产勘查市场中存在的问题，并针对相关问题提出相应的解决方法。

关键词: 商业性矿产勘查 , 博弈论 , 市场规范

33Mn2V钢热变形本构模型的适用性研究

范慧 , 王辅忠

兵器材料科学与工程 doi:33-1331/TJ.20110905.2259.009

通过对比研究了材料加工领域计算机仿真中的不同流动应力模型.用Gleeble-1500热/力模拟仪对中碳微合金33Mn2V非调制油井管钢进行热镦锻试验,对各种流动应力模型进行对比分析,采用数值拟合回归的方法,利用Matlab拟合相应模型的回归系数.结果表明,针对33Mn2V油井管钢的高温变形过程,在一定的应变速率和温度条件下,适宜采用周纪华-管克智模型或B-P模型,其曲线的相关系数R均超过0.89.

关键词: 33Mn2V油井管钢 , 流动应力模型 , 回归参数 , 曲线拟合