金奉柱
,
崔瑩石
,
劉聖烈
,
張炳鉉
,
柳在一
,
李禹奉
,
李貞烈
,
Jung-yeal LEE
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.05.001
为了获得高的开口率,有必要优化设计参数和工艺容差.通常的过孔刻蚀工艺采用SF6基气体进行刻蚀,但是这种方法在金属和钝化层之间的选择性太小,因此,必须增加过孔的尺寸才行.为了克服上述问题,在本研究中用CF4气体代替 SF6气体进行刻蚀,结果在FFS 5.16(2.03 in)像素结构中,开口率提高了60 %.
关键词:
TFT-LCD
,
开口率
,
刻蚀
,
CF4等离子体
劉聖烈
,
崔螢石
,
金奉柱
,
柳在一
,
李禹奉
,
李貞烈
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.05.020
为了减少制造工艺的过程,改进的4-Mask工艺中采用Al基的数据线已得到进一步的完善.但这个工艺仍存在很多问题,主要是为减少工艺过程,而引入干法刻蚀对Al有腐蚀作用.本文应用CF4/O2等离子体处理,很好地阻止了对Al的腐蚀,得到很好的效果,对改进后4-Mask工艺的进一步应用具有非常重要的意义.
关键词:
液晶显示器
,
腐蚀
,
Al,Mo/Al/Mo
,
等离子体处理
富笑男
,
罗艳伟
,
符建华
,
李坤
,
程莉娜
,
李新建
功能材料
利用浸溃技术在硅纳米孔柱阵列(silicon nanoporous pillar array(简称Si-NPA))上制备了复合纳米薄膜Au/Si-NPA.测试了其场发射性能.测试结果显示,Au/Si-NPA的开启电场为约2V/μm;在7.59V/μm的外加电场下,其发射电流密度为67μA/cm2;在外加电压2000V时,其电流浮动率为21%.导致Au/Si-NPA优良的发射性能是由于其独特的表面形貌和结构所致.
关键词:
金/硅纳米孔柱阵列
,
场发射
,
浸渍技术
富笑男
,
符建华
,
李坤
,
罗艳伟
,
李新建
人工晶体学报
采用浸渍技术,分别以新鲜和老化两组硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)衬底为模板制备了不同形貌特征的Au/Si-NPA.结果表明:造成两组衬底上形成的Au/Si-NPA形貌上的巨大差异主要是由于两组Si-NPA衬底表面氧含量的分布不同所致.进一步分析发现,Si-NPA在Au/Si-NPA的形成过程中既起到了模板作用,又起到了还原的双重作用.由于Si-NPA具有规则的阵列结构,从而使得金在Si-NPA表面上的沉积速率产生选择性,最终可以形成准周期的、规则的金纳米复合薄膜.
关键词:
硅纳米孔柱阵列
,
模板
,
选择沉积
,
金纳米复合薄膜
翟新磊
,
徐金光
,
徐秀峰
,
邹旭华
,
齐世学
,
祁彩霞
,
安立敦
催化学报
doi:10.3724/SP.J.1088.2011.01004
采用吸附柱色谱新方法制备Au/AL2O3催化剂,并用于低温CO氧化反应,考察了Au盐溶液pH值及其与载体的液固比、载体比表面积和竞争吸附质等对Au催化剂性能的影响.结果表明,Au前驱体溶液的pH值为9,液崮比为6,优先吸附丙酮制得的催化剂Au颗粒大小分布均匀,粒径为5 nm左右,在-25℃即可实现CO完全转化.载体AL2o3比表面积对催化剂性能影响也较大.另外,优先加入的竞争吸附质的极性越低,所制催化剂上Au颗粒的分布越均匀.该法可提高Au利用率,有效去除有毒Cl-,为大规模制备Au催化剂提供了一条有效途径.
关键词:
吸附柱色谱法
,
金
,
一氧化碳
,
氧化
,
纳米结构
,
液固比
崔永春
,
胡秋芬
,
杨光宇
,
尹家元
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2005.01.016
研究了用对羧基苯偶氮硫代若丹宁(CPATR)为柱前衍生试剂,以安捷伦ZORBAX Stable Bound(4.6 rm×50 mm,1.8μm)快速分离柱为固定相,42%的甲醇(内含2%的醋酸)为流动相,高效液相色谱分离,二极管矩阵检测器检测测定金、铂、钯、铑的的方法,4种贵金属元素的络合物在2.0min内可达到基线分离.根据信噪比(S/N=3)得各金属离子的检测限分别为:金1.5μg·L-1,铂1.0μg·L-1,钯0.6μg·L-1,铑0.8μg·L-1,方法用于氰化渣样品中痕量金、铂、钯、铑的测定,相对标准偏差平均值在2.2%～2.7%之间,标准回收率平均在96%～102%之间,结果令人满意.
关键词:
高效液相色谱
,
对羧基苯偶氮硫代若丹宁(CPATR)
,
金
,
铂
,
钯
,
铑
黄恩兆
金属学报
杆柱适应于各种不同顶板岩层结构与岩石性质的房柱法中,随着应用条件的不同,杆柱作用原理亦因之各异。必须在充分研究了在各种不同条件下的杆柱作用原理,矿山压力大小,杆柱顶板的变形、破坏的力学性质的基础上才能在确地确定杆柱支护参数与矿房宽度的计算方法。
关键词:
朱翠茹
,
关亚风
,
吴建强
色谱
doi:10.3321/j.issn:1000-8713.2000.05.002
设计并评价了尾锥形填充毛细管液相色谱柱,与粘结型柱尾比较,前者柱效高且van Deemter曲线高流速部分的流速-柱效关系明显改善.在折合流速为10～15时,前者的柱效比后者高出30%～50%.谱带的抛物线状的流形在尾锥形柱内得到改善,使色谱峰的对称性有明显提高.比较了两种结构的色谱柱在芳烃快速分析中的分离效果,结果是尾锥形柱的分离性能优于粘结型柱.
关键词:
尾锥形柱
,
填充毛细管液相色谱柱
,
液相色谱柱结构
,
快速分析
