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低压CVD氮化硅薄膜的沉积速率和表面形貌

刘学建 , , 张俊计 , 黄智勇 , 黄莉萍

无机材料学报

以三氯硅烷(TCS)和氨气分别作为低压化学气相沉积(LPCVD)氮化硅薄膜(SiNx)的硅源和氮源,以高纯氮气为载气,在热壁型管式反应炉中,借助椭圆偏振仪和原子力显微镜,系统考察了工作总压力、反应温度、气体原料组成等工艺因素对SiNx薄膜沉积速率和表面形貌的影响.结果表明:随着工作压力的增大,SiNx薄膜的沉积速率逐渐增加,并产生一个峰值.随着原料气中NH3/TCS流量比值的增大,SiNx薄膜的沉积速率逐渐增加,随后逐步稳定.随着反应温度的升高,沉积速率逐渐增加,在830℃附近达到最大,随着反应温度的进一步升高,由于反应物的热分解反应迅速加剧,使得SiNx薄膜的沉积速率急剧降低.在730-830℃的温度范围内,沉积SiNx薄膜的反应表观活化能约为171kJ/mol.在适当的工艺条件下,制备的SiNx薄膜均匀、平整.较低的薄膜沉积速率有助于提高薄膜的均匀性,降低薄膜的表面粗糙度.

关键词: LPCVD , silicon nitride thin films , growth rate , surface morphology

低压CVD氮化硅薄膜的沉积速率和表面形貌

刘学建 , , 张俊计 , 黄智勇 , 黄莉萍

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2004.02.020

以三氯硅烷(TCS)和氨气分别作为低压化学气相沉积(LPCVD)氮化硅薄膜(SiNx)的硅源和氮源,以高纯氮气为载气,在热壁型管式反应炉中,借助椭圆偏振仪和原子力显微镜,系统考察了工作总压力、反应温度、气体原料组成等工艺因素对SiNx薄膜沉积速率和表面形貌的影响.结果表明:随着工作压力的增大,SiNx薄膜的沉积速率逐渐增加,并产生一个峰值.随着原料气中NH3/TCS流量比值的增大,SiNx薄膜的沉积速率逐渐增加,随后逐步稳定.随着反应温度的升高,沉积速率逐渐增加,在830℃附近达到最大,随着反应温度的进一步升高,由于反应物的热分解反应迅速加剧,使得SiNx薄膜的沉积速率急剧降低.在730~830℃的温度范围内,沉积SiNx薄膜的反应表观活化能约为171kJ/mol.在适当的工艺条件下,制备的SiNx薄膜均匀、平整.较低的薄膜沉积速率有助于提高薄膜的均匀性,降低薄膜的表面粗糙度.

关键词: LPCVD , 氮化硅薄膜 , 沉积速率 , 表面形貌

Sol-Gel法制备BaxSr1-xTiO3铁电薄膜化学机制的探讨

, 丁永平 , 孟中岩

无机材料学报

用FTIR分析,结合DSC、XRD、AFM实验结果,展示了sol-gel法制备BaSr1-TiO(BST)薄膜热演化过程的化学机制.研究表明:螯合剂HACAC的引入减缓钛醇盐水解速率、改善晶化途径、降低结晶起始温度,从而制得了晶化完善、致密无裂纹的BST薄膜.

关键词: BST薄膜 , sol-gel method , FTIR , DSC , XRD , AFM

Sol-Gel法制备 BaxSr1-xTiO3铁电薄膜化学机制的探讨

, 丁永平 , 孟中岩

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.02.015

用FTIR分析, 结合DSC、XRD、AFM实验结果,展示了sol-gel法制备 BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜热演化过程的化学机制. 研究表明:螯合剂HAcAc的引入减缓钛醇盐水解速率、改善晶化途径、降低结晶起始温度,从而制得了晶化完善、致密无裂纹的BST薄膜.

关键词: BST薄膜 , sol-gel工艺 , FTIR , DSC , XRD , AFM

黄河压舟浮桥的腐蚀与防护

邵杰 , 孙志伟 , 曹瑞祥

腐蚀与防护

介绍黄河中压舟浮桥的特点,全面分析论述压舟浮桥的腐蚀.提出了一些防腐蚀的措施.

关键词: 黄河 , 浮桥 , 压舟 , 腐蚀 , 防腐措施

钢成功轧制HRB600高强抗震钢筋

钢铁

近日,钢成功轧制规格为25mm的HRB600高强抗震钢筋300t,各项指标满足设计要求,填补了中国600MPa级别高强钢筋生产的空白。钢从2011年年初开始就提出了按照国家标准成分范围研制和开发600MPa级高强钢筋的科研攻关课题,

关键词: 抗震钢筋 , 轧制 , 钢筋生产 , 高强钢筋 , 国家标准

耐烧蚀力格栅成型工艺研究

徐戈

玻璃钢/复合材料 doi:10.3969/j.issn.1003-0999.2001.06.014

本文介绍了新型力格栅的研制,选用镁酚醛树脂作基体,4114纱无碱玻璃纤维预浸料和预混料混合增强材料,模压成型的工艺方法,使产品具有耐烧蚀、高强度、抗冲刷等性能.

关键词: 预浸料 , 预混料 , 模压

压灰口铸铁构件的强度分析

李克安

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.1999.04.018

现行灰口铸铁压构件的强度分析方法和强度条件计算式存在明显的缺陷和不足之处.本文在分析这一问题时计入了内摩擦力的影响,并给出了内摩擦角φ的取值范围,最后得到了更准确、更符合工程实际的强度条件.

关键词: 灰口铸铁 , 压缩破坏 , 强度条件 , 内摩擦力

大载荷力支架结构用碳/环氧力管金属整体接头的结构设计

彭超义 , 曾竟成 , 肖加余 , 杜刚

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2005.01.011

某大载荷力支架结构采用碳/环氧管作为主力构件,利用金属接头把力管、前端框和后端板连接成整体支架.利用有限元分析软件ANSYS7.0对力支架结构进行了总体静力分析,并分析了接头的局部受力状态.根据接头的受力状态,结合胶接失效模型设计了整体接头叉形部分长度为50 mm,并根据最大弯曲正应力设计了接头的壁厚为3 mm,设计表明整体接头许用拉伸强度为250 MPa,可满足力支架的承载要求.

关键词: 力支架 , 碳/环氧管 , 整体接头 , 长度 , 壁厚

Cr5支辊失效分析

刘学伟 , 裴新华 , 周丽萍 , 穆海玲

物理测试 doi:10.3969/j.issn.1001-0777.2007.04.016

采用光学金相显微镜、超声波探伤和力学性能测试等方法对Cr5支辊大面积剥落的原因进行了分析.宏观断口和探伤结果表明,该轧辊的剥落面经过了一段疲劳延伸过程,裂纹由硬化层底部起源,沿轧辊圆周,逆轧制方向发展.剥离块为辊身的硬化层,硬化层外表为马氏体,中部为索氏体,硬化层的底部组织为屈氏体.轧辊辊身传动侧存在的轧辊制造问题和热处理工艺不当是该次剥落的原因.

关键词: 支承辊 , 失效分析 , Cr5

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