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外吸除用硅片背面加工技术的研究

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2001.05.006

用 SEM、TEM 和光学显微镜研究了硅片背面的机械损伤(包括软损伤)和多晶硅的晶格结构,以及热处理过程中晶格结构和缺陷的演化,探索了吸杂的机理.实验结果表明,用本技术能减少S坑密度,提高硅片产生寿命,对金、铜等金属杂质有吸杂的效果.

关键词: 机械损伤 , 软损伤 , 氧化诱生层错 , S坑缺陷 , 外吸除 , 内吸除

高温氢气退火提高硅片质量的研究

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.02.025

研究了硅片高温氢气退火的工艺技术,实验显示,在高温1150℃,在高纯氢气氛中退火处理至少60min,在硅片表面产生约50μm以上的洁净层.测试了退火后硅片中氧的深度分布,发现硅片表面有一层低氧区,能提高硅片的质量,使氧化层错的密度降低一个数量级,测试数据还表明高温氢退火对降低COP缺陷的密度和提高氧化层的质量也有一定的效果.

关键词: 高温氢退火 , 氧沉淀 , 晶体原生颗粒(COP) , 氧化层错 , 与时间有关的介质击穿(TDDB)

研磨倾斜角度对扩展电阻测试量值的影响

吴晓虹 , 闵靖

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.01.022

讨论了在检测半导体器件和集成电路芯片时,不同研磨倾斜角度对扩展电阻量值的影响。

关键词: 扩展电阻技术 , 倾斜角 , 扩散 , 离子注入

淀积在硅片上起杂质吸除用的多晶硅的研究

闵靖 , 邹子英 , 李积和 , 陈青松 , 周子美 , 陈一

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.04.016

在器件的高温工艺过程中多晶硅再结晶,晶粒不断地长大,多晶硅层厚因高温氧化而减薄直到完全耗尽.在多晶硅层完全去除后在硅衬底中诱生出高密度的氧化层错起吸除中心作用.多晶硅能促进硅片内的氧沉淀成核和生长,起内吸杂作用.本文提出了多晶硅持续吸杂的机理.

关键词: 多晶硅吸杂 , 内吸杂 , 增强吸杂 , 氧沉淀 , 氧化层错 , 洁净层

定靖油气田区地下水有机污染特征初步分析

崔虎群 , 康卫东 , 李文鹏 , 王润兰 , 刘景涛

环境化学 doi:10.7524/j.issn.0254-6108.2016.06.2015092502

以地下水水质检测数据为基础,从污染源分布及水文地质条件入手,对定靖油气田区地下水有机污染分布特征及其成因进行了研究,本文检测了卤代烃15项、氯代苯5项、单环芳烃5项、有机氯农药11项和多环芳烃1项,结果发现该地区地下水有机污染具有检出种类少,检出率高,浓度低,超标率低的特点.地下水中检出的有机污染物共有10种,分别为甲苯、苯、邻二甲苯、苯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯乙烷、1,2-二氯丙烷、1,2-二氯苯、1,2,4+三氯苯和苯并(a)芘,检出的9项有机污染物含量均低于《地下水质量标准》(GB/T 14848-2007)三类水限值.潜水的检出项比承压水的检出项多,检出率普遍比承压水的检出率高.不同地貌类型的有机污染物检出率为黄土区(28.87％)≈平原区(27.76％)＞沙漠滩地区(11.11％)＞河谷区(3.33％).最后,从工业污染源、有机物理化性质和水文地质条件对有机污染分布特征的成因进行了阐述.

关键词: 定靖油气田区 , 地下水 , 有机污染 , 成因浅析

以催化技术创新贡献国民经济50年——记闵恩泽先生的主要科学技术成就和贡献

何鸣元

催化学报 doi:10.3724/SP.J.1088.2013.30108

介绍了2007年度国家最高科学技术奖获得者闵恩泽院士的主要科学技术成就与贡献,包括:(1)不断研发炼油新催化剂,奠定中国石油炼制催化剂制造技术基础——炼油催化应用科学的奠基人；(2)自主创新,开发新催化材料和新反应工程——石油化工技术自主创新的先行者；(3)开发绿色石化技术,从源头根治环境污染——绿色化学的开拓者三部分内容.

关键词: 闵恩泽 , 炼油催化剂 , 自主创新 , 绿色化学 , 国家最高科学技术奖

闵恩泽先生小传

张晓昕

催化学报 doi:10.3724/SP.J.1088.2013.21254

关键词:

从催化导向性基础研究到工业应用的若干创新思路与实践——庆祝闵恩泽先生九十华诞

谢在库

催化学报 doi:10.3724/SP.J.1088.2013.20926

闵恩泽先生曾经指出:开展导向性基础研究对研发新技术及其实现工业应用至关重要.将高性能催化材料和化学工程技术的结合是石油化工技术创新的重要途径之一.在传统的石油化工领域引入和集成新材料、新工艺与新过程,可有力地推动石油化工技术的发展.本文对近年来在多孔催化新材料及若干石油化工关键催化技术的创新实践进行总结,包括多孔复合催化新材料与工业催化反应的结合、绿色反应工艺与催化剂、过程耦合与强化等几个方面,凝练了材料科学与化学工程结合与应用的创新思路.

关键词: 石油化工 , 工业催化 , 多孔复合催化材料 , 绿色反应工艺 , 过程耦合与强化 , 导向性基础研究

《催化学报》以本期专刊的出版庆祝闵恩泽院士九十华诞

何鸣元 , 刘海超

催化学报 doi:10.1016/S1872-2067(11)60511-1

关键词:

毛细力驱动电厂冷凝热海水淡化

阚伟民 , 章先涛 , 郑李坤 , 江浩庆 , 陈燕鸣 , 程婷 , 胡雪蛟

工程热物理学报

报导了一套可利用电厂冷凝热的海水淡化系统,系统类似一个打开的环路热管,毛细抽吸力是系统运行的主要驱动力,该驱动力抽吸海水进入毛细芯中发生相变,推动产生的蒸汽进入冷凝器中冷凝成淡水,而不消耗额外电能.在粤电靖海发电有限公司建立一套示范系统,利用#2汽机低温抽汽(约60℃)作为热源,现场条件产水能力为58.3 L/h,产水TDS含量为40.3 mg/L,水质超过饮用水标准.毛细芯中的弯液面可以自适应外界热源,在55～70℃间都能自适应正常运行.

关键词: 热管 , 毛细力 , 冷凝热 , 海水淡化

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